Forschung
Das ZfM führt Grundlagenforschung, praxisnahe Verbundprojekte und direkte Forschungs- und Entwicklungsaufträge für die Industrie in den folgenden Bereichen durch:
- Basistechnologien und Komponenten für Mikrosysteme und Nanosysteme (Sensoren, Aktoren, Arrays)
- Entwurf von Komponenten und Systemen
- Mikro- und Nanoelektronik (Back-End of Line, Zuverlässigkeit)
- Nanotechnologien, Nanokomponenten und ultradünne Funktionsschichten
Das Zentrum für Mikrotechnologien verfügt über ca. 1000m2 Reinräume und Ausrüstung für Masken- und Wafer-Prozesse sowie eine Elektronenstrahllithografie mit minimalen Strukturgrößen von weniger als 0,1 μm. Der neue Reinraum (Klasse 10/ ISO 4) wurde im Gebäude des Instituts für Physik eingerichtet und im Jahr 2007 fertiggestellt. Der alte Reinraum ist 2001/02 mit Mitteln des Freistaates Sachsen erneuert worden und bieten eine moderne Umgebung für Forschung und Entwicklung. Hier können Wafer mit einem Durchmesser von 100mm, 150mm bis 200mm bearbeitet werden.
