Center for Microtechnologies








Staff


Department Lithography

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
Dr. Bertz
Department Manager
Andreas33129andreas.bertz@zfm
Schwenzer
Deputy
Gunther33682gunther.schwenzer@zfm
AhnerNicole35020nicole.ahner@zfm
BankwitzJörn37718joern.bankwitz@zfm
BruderMandy37746mandy.bruder@zfm
Dr. ErbenJens-Wolfram35048jens-wolfram.erben@zfm
GrunertJürgen35094juergen.grunert@zfm
HempelIngrid35082ingrid.hempel@zfm
KlimmtIngo33640ingo.klimmt@zfm
KüchlerMatthias35836matthias.kuechler@zfm
NowackMarkus36462markus.nowack@zfm
Dr. ReuterDanny35041danny.reuter@zfm
StreiterIsa35084isa.streiter@zfm
WernerThomas35515thomas.werner@zfm

Department Layer Deposition

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
Dr. Kaufmann
Department Manager
Christian35096christian.kaufmann@zfm
Zichner
Deputy
Norbert33650norbert.zichner@zfm
BonitzJens33608jens.bonitz@zfm
GrothBirgit33683birgit.groth@zfm
HahnRamon35160ramon.hahn@zfm
HöbeltIris33670iris.hoebelt@zfm
KowolCornelia33202cornelia.kowol@zfm
MüllerReinhard35154reinhard.mueller@zfm
PlänitzMatthias33651matthias.plaenitz@zfm
ReichRene35834rene.reich@zfm
RennauMichael35810michael.rennau@zfm
SchwarzPatrick35142patrick.schwarz@zfm
SeifertMario35185mario.seifert@zfm

MEMS/NEMS

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... .tu-chemnitz.de
Prof. Dr. Hiller
Group Leader
Karla33276karla.hiller@zfm
EnderleinTom38223tom.enderlein@zfm
GebauerChristian39545christian.gebauer@zfm
GratiasAndré38996-
Dr. JiaChenping35087chenping.jia@zfm
MorschhauserAndreas36482andreas.morschhauser@zfm
MöbiusMartin39461martin.moebius@zfm
NestlerJörg35642joerg.nestler@zfm
RichterKnut37999knut.richter@zfm
StreitPetra37962petra.streit@zfm
SchulzeRobert38675robert.schulze@zfm
UhligSven35518sven.uhlig@zfm
VoigtSven37254sven.voigt@zfm
WenQuan37751quan.wen@etit
WünschDirk37283dirk.wuensch@zfm

Project Coordination Nanett

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
Dr. ReuterDanny35041danny.reuter@zfm
SchindlerRomy38375romy.schindler@zfm

DFG-Research Unit 1713

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
WagnerChristian38699-
HaasSven39626sven.haas@zfm

IRTG

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
BelskyPetr36827petr.belsky@zfm
FiedlerHolger38572holger.fiedler@zfm
FischerTobias38226tobias.fischer@zfm
HahnSusann37988susann.hahn@zfm
HartwigInes37217ines.hartwig@zfm
Dr. HermannSascha35675sascha.hermann@zfm
HofmannLutz36548lutz.hofmann@zfm
LoschekSergei38487-
MohammadzadehSaeideh36816saeideh.mohammadzadeh@zfm
MarkertMatthias38626matthias.markert@zfm
MartinkaRonny38182ronny.martinka@zfm
MüllerSteve38571steve.mueller@zfm
Dr. SchulzeKnut35635knut.schulze@zfm
StreitPetra37962petra.streit@zfm
ZienertAndreas37937-

Education

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
Dr. StreiterReinhard35842reinhard.streiter@zfm
Dr. RaschkeThomas33080thomas.raschke@zfm

Public Relations

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
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Dr. VogelMartina36458martina.vogel@zfm
Messig-WetzelAndrea37238andrea.messig@etit

Administration

Surname First Name Phone
+49 (0)371 531-...
eMail
... .tu-chemnitz.de
HommelJörg35089joerg.hommel@zfm
HöppnerGottfried33132gottfried.hoeppner@zfm
KrumbiegelFrank33674frank.krumbiegel@zfm
SalokatJörg35171joerg.salokat@zfm
TräberKatrin35841katrin.traeber@zfm

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