12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik
- Mikromechanik & Mikroelektronik -
Programm
Dienstag, 21. Oktober 2014
| Eröffnungssession | |
| Session 1: | Medizinische/Biologische Analyse |
| Firmenpräsentation | |
| Posterpräsenstation | |
| Session 2: | Medizintechnik |
| Session 3: | Nanotechnologie 16:00 Uhr Dispersion Preparation for Wafer-Level Liquid Processing of Carbon Nanotube Microsensors T. Hille, T. Blaudeck, S. Hermann, S. E. Schulz (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz) 16:20 Uhr Raman spectroscopy study of the interaction of gold nanoparticles with carbon-nanotubefield-effect transistors J. Kalbacova, R. D. Rodriguez, T. Blaudeck, S. Hermann, E. Sheremet, D. Adner, H. Lang, S. E. Schulz, D. R. T. Zahn (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz) 16:40 Uhr Tip-Enhanced Raman Spectroscopy for the Characterization of Carbon Nanotubes E. Sheremet, R. D. Rodriguez, A. Krayev, J. Kalbacova, S. Hermann, S. E. Schulz, D. R. Dietrich (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz) |
| Abendveranstaltung | im Staatlichen Museum für Archäologie Chemnitz |
Mittwoch, 22. Oktober 2014
| Begrüßung | |
| Session 4: | Entwurf/Simulation 9:45 Uhr Modeling of the optimized conditions for carbon nanotube strain sensors C. Wagner (TU Chemnitz) |
| Session 5: | Technologie I 11:05 Uhr Kombination von Laser- und MEMS-Technologieprozessen für Intrgrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen C. Helke, T. Enderlein, S. Harazim, J. Nestler, T. Otto, O.G. Schmidt, T. Geßner (TU Chemnitz, IFW Dresden, Fraunhofer ENAS) |
| Session 6: | Technologie II 13:50 Uhr Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Beschleunigungs- und Neigungssensorsystemen C. Meinecke, A. Bertz, C. Dittrich, S. Schunke, P. Kreutziger, T. Geßner (TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS, GEMAC mbH) 14:10 Uhr Entwicklung einer Sprühbeschichtungsanlage für Negativ-Photoresiste M. Schönfeld, S. Schubert, J. Saupe, J. Grimm, M. Arnold, G. Schwenzer, A. Voigt (Westsächsische Hochschule Zwickau, TU Chemnitz, micro restist technology GmbH) 14:30 Uhr Electrodynamic actuator utilizing metallic glass and integrated magnets K. Vogel, F. Gabler, W.-S. Wang, T. Seifert, M. Wiemer, T. Geßner (Fraunhofer ENAS, TU Chemnitz) |
| Session 7: | Funktionsintegration 15:30 Uhr Entwicklung eines intelligenten, textilen Halbzeugs J. Schaufuß, R. Decker, M. Dienel, M. Schüller, L. Kroll, T. Geßner, J. Mehner (TU Chemnitz, Kompetenzzentrum Strukturleichtbau e.V., Fraunhofer ENAS) |
| Session 8: | NEMS/MEMS Charakterisierung 15:50 Uhr Entwicklung eines experimentellen Aufbaus zur Systemcharakterisierung von MEMS Gyroskopen auf Waferlevel S. Weidlich, R. Forke, S. Konietzka, K. Hiller, T. Geßner (Fraunhofer ENAS, EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, TU Chemnitz) 16:10 Uhr Direktintegration von Feldeffettransistoren in Siliziummembranen als piezoresistive Sensorelemente M. Schramm, S. Haas, D. Reuter, S. Heinz, K.-U. Loebel, J. T. Horstmann, T. Geßner (TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS) 16:30 Uhr Micro and Nano Scale Tensile and Fatigue Testing Using a Specimen Centered Approach P. Meszmer, K. Hiller, A. Shaporin, J. Mehner, B. Wunderle (TU Chemnitz) |
Parallel zu den Sessions des 2. Tages laufen Statusseminar und Jahreshauptversammlung von nanett - Konpetenznetzwerk für Nanointegration.
