Projekt REMTEC

Im Rahmen des vom BMWi geförderten Forschungsprojekts REMTEC wurden Konzepte für neue und innovative Fügeverfahren von Wafern basierend auf galvanisch abgeschiedenen, integrierten reaktiven Multilagensystemen erarbeitet. Die galvanische Abscheidung unter Verwendung von wässrigen Lösungen erfolgte dabei sowohl mittels Einbad- als auch Zweibadtechnologie. Dabei wurden zunächst Einzelschichten auf Testsubstraten abgeschieden und anschließend Stapeltests durchgeführt. Von den untersuchten Materialsystemen Pd/Zn und Pd/Sn konnten für das Pd/Sn Reaktivsystem selbstausbreitende exotherme Reaktionen im galvanisch abgeschiedenen iRMS nachgewiesen werden. Neben der iRMS-Abscheidung aus wässrigen Lösungen wurden im Rahmen des Forschungsprojekts auch erste Untersuchungen im Bereich der Al/Pd Galvanik aus ionischen Liquiden durchgeführt. Basierend auf der elektrochemischen Abscheidung von Pd- und Al- Einzelschichten unter Verwendung ionischer Liquide konnten dabei auch erste Multilagensysteme aus Pd und Al aufgebaut werden. Zur Erzeugung zündfähiger Strukturen aus ionischen Liquiden sind jedoch weitere Untersuchungen erforderlich.

Im Rahmen des Forschungsprojekts wurden mit den Projektpartnern :

• Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.,
• Fraunhofer-Institut für Werkstoff und Strahltechnik sowie
• Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie

verschiedene Demonstratoren reaktiv gefügt und die Fügeverbindung evaluiert.

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