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Zentrum für Mikrotechnologien
Forschung

Forschung

Das Zentrum für Mikrotechnologien betreibt Grundlagenforschung, praktische Projekte sowie direkte Forschungs- und Entwicklungsaufträge für die Industrie in den folgenden Bereichen:

  • Basistechnologien und Komponenten für Mikro- und Nanosysteme (Sensoren, Aktoren, Arrays),
  • Design von Komponenten und Systemen,
  • Nanotechnologien, -komponenten und ultradünne funktionale Schichten.
  • Mikro- und Nanoelektronik (Back-End of Line, Zuverlässigkeit)

Das Zentrum für Mikrotechnologien verfügt über ca. 1000m2 Reinräume und Ausrüstung für Masken- und Wafer-Prozesse sowie eine Elektronenstrahllithografie mit minimalen Strukturgrößen von weniger als 0,1 μm. Der neue Reinraum (Klasse 10/ ISO 4) wurde im Gebäude des Instituts für Physik eingerichtet und im Jahr 2007 fertiggestellt. Der alte Reinraum ist 2001/02 mit Mitteln des Freistaates Sachsen erneuert worden und bieten eine moderne Umgebung für Forschung und Entwicklung. Hier können Wafer mit einem Durchmesser von 100mm, 150mm bis 200mm bearbeitet werden.

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