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Zentrum für Mikrotechnologien
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Student Jobs, Thesis

NEW: Students of the Master course »Micro and Nano Systems« should apply for a research project on Bildungsportal Sachsen.

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Al und Al-Legierungen werden sowohl in der MEMS als auch CMOS Fertigung für elektrische Kontakte, Leitbahnen und Bondpads eingesetzt. Dazu werden meist PVD-Schichten genutzt. Das Fraunhofer ENAS hat einen Prozess erarbeitet, um Al auch galvanisch auf Waferlevel abzuscheiden.
Die elektrochemische bzw. galvanische Abscheidung (ECD) von Al aus ionischen Liquiden (IL) stellt dabei Herausforderungen an die bisherigen Abscheidekonzepte. IL sind Salze mit einem Schmelzpunkt < 100 °C. Diese IL bieten aufgrund ihres breiten elektrochemischen Fensters die Möglichkeit zur Abscheidung von Metallen mit negativem Standardpotential, wie Al, Ti, Ta und Mg. Aufgrund des feuchtigkeitssensitiven Charakters der ILs wird in einer mit Stickstoff gefüllten Glovebox gearbeitet.
Im Rahmen der Arbeiten sollen Abscheide- und Prozessparameter für die galvanische Abscheidung von Al-Schichten über Topografien im Silizium (z.B. Through Silicon Vias) erarbeitet werden. Die Herausforderung liegt dabei in der konformen Abscheidung im Via. Dazu müssen PVD-Prozesse, Lithografie und Galvanik aufeinander abgestimmt werden.

Folgende Aufgaben werden auf Sie zukommen:
- Erarbeitung der Grundlagen der elektrochemischen Abscheidung/ionischen Flüssigkeiten als Fundament für die experimentellen Tätigkeiten (Literatur- und Patentrecherchen)
- Erstellung eines theoretischen Prozessplans zur Realisierung der Zielstellung inkl. Versuchsplan
- Erstellung von Prozessplänen für die Wafer-Präparation inkl. Sichtkontrollen
- Durchführung der galvanischen Abscheidung von Al auf 150-mm Wafer
- Charakterisierung der Schichten (Schichtdickenverteilung, Mikrostruktur, Rauheiten usw.)
- Ausführliche Auswertung und Dokumentation der Versuche

Voraussetzungen:
- Eigenständige und strukturierte Arbeitsweise
- Sorgfältigkeit und Zuverlässigkeit
- Ideal: Kenntnisse in der Elektrochemie und Halbleiterfertigung

Diese Arbeiten können in Form eines Research Projects und/oder Masterarbeit bzw. Diplomarbeiten durchgeführt werden.

Kontakt:
Silvia Braun
Fraunhofer ENAS
Abteilung System Packaging
0371/45001-277
silvia.braun@enas.fraunhofer.de


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Possible as: Student research project, Master-Thesis, Diploma Thesis

Addressed topics: MEMS, Micro- and Nanoelectronics, Nano technology, Measurement / analytics, Processes / technology, Review of Literature

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Labels: Student research project   Student Assistance   Bachelor-Thesis   Master-Thesis   Diploma Thesis   PhD Position  

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