#26-01Magnetron-Sputtern von Niob-Dünnschichten

Addressed topics: MEMS, Micro- and Nanoelectronics, Others

Student research project   Bachelor-Thesis   Master-Thesis  

Am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien ist im Rahmen eines Forschungsprojekts zur supraleitenden Mikroelektronik eine studentische Arbeit (Projekt-, Bachelor- oder Masterarbeit) zu vergeben. Der Fokus liegt auf der Prozessentwicklung und Charakterisierung von Niob-Schichten (Nb).

Projektinhalt und Aufgabenstellung

Niob (Nb) ist ein zentrales Material für supraleitende Strukturen. Ziel der Arbeit ist die Optimierung der Abscheidungsprozesse für mikroelektronische Anwendungen. Der Student/die Studentin wird aktiv in den Prozess eingebunden – beginnend mit dem Einbau eines neuen Nb-Targets bis hin zur eigenständigen Prozessführung.

Der Umfang der Arbeit wird je nach Modulvorgabe definiert:

• Prozessierung: Durchführung von PVD-Beschichtungen (Magnetron-Sputtern).

• Analytik: Systematische Untersuchung der Schichteigenschaften mittels Profilometrie (Dicke), Schichtspannungsmessung, Vier-Punkt-Methode (elektrische Charakterisierung) und AFM (Rauigkeitsmessung).

• Optionale Erweiterung: Strukturierung der Schichten durch Trockenätzverfahren oder Lift-Off-Prozesse.

Anforderungsprofil

• Studienrichtung: Studium der Physik, Biomedizinischen Technik, Mikrosystemtechnik, Materialwissenschaften oder einer vergleichbaren Fachrichtung.

• Arbeitsweise: Nach einer umfassenden Einarbeitung wird eine eigenständige und verantwortungsbewusste Arbeitsweise im Labor- bzw. Reinraumumfeld erwartet.

• Methodische Kompetenz: Ausgeprägtes analytisches Denken sowie die Fähigkeit, Messergebnisse kritisch zu hinterfragen und eigenständig Hypothesen zur Validierung der Resultate zu entwickeln.

• Interesse: Motivation zur experimentellen Forschung an der Schnittstelle von Materialwissenschaft und Mikroelektronik.

Rahmenbedingungen

• Zeitraum: 01. April bis 30. Oktober 2026.

• Angebot: Wir bieten eine fundierte Ausbildung an den Anlagen sowie die Möglichkeit zur eigenständigen wissenschaftlichen Arbeit in einem modernen Forschungsumfeld.

Contact

Marcel Melzer
marcel.melzer@…