The Research Center
The ZfM is one of the world's leading research centers in the field of microsystems technology and nano technologies. The aim is research and development of new technologies for the micro and nanosystems of tomorrow.
The focus of the developments is set on miniaturization, energy requirements, performance and resource efficiency of micro and nanosystems. Together with partners from industry and research, we bring the developments into application.
ZfM at a Glance
Research News
Wo Science-Fiction Wirklichkeit wird: Festakt und Fach-Symposium zum 35. Geburtstag des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien der TU Chemnitz mit Sachsens Ministerpräsident Michael Kretschmer
Ein Forschungsleuchtturm feiert Geburtstag. Zum 35. Jahrestag der Gründung des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM) der Technischen Universität Chemnitz schlug am 9. September 2026 ein Jubiläums-Symposium die Brücke von den herausragenden Erfolgen der letzten Jahrzehnte zu den Perspektiven von Mikrosystemen für eine smarte und nachhaltige Zukunft.Read more68 Millionen Euro für neuen Reinraum an der TU Chemnitz
Der Freistaat Sachsen plant weitere Investitionen in Wissenschaft und Forschung in Südwestsachsen. Am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz soll ein neuer Reinraum für Forschung und Technologieentwicklung in nachhaltiger Mikroelektronik und Sensortechnik entstehen. Für das rund 68 Millionen Euro umfassende Vorhaben sollen nicht abgerufene EU-Fördermittel eingesetzt werden. Vorbehaltlich der Zustimmung der Europäischen Kommission stärkt das Projekt die Forschungsinfrastruktur der Universität und schafft neue Kooperationsmöglichkeiten mit Forschungseinrichtungen und Unternehmen.Read moreJubiläums-Symposium "Microsystems for a Smart and Sustainable Future"
Wir feiern 35 Jahre ZfM – Zentrum für Mikro- und NanotechnologienRead moreThere is even more. Read all the research news.


