The Research Center
The ZfM is one of the world's leading research centers in the field of microsystems technology and nano technologies. The aim is research and development of new technologies for the micro and nanosystems of tomorrow.
The focus of the developments is set on miniaturization, energy requirements, performance and resource efficiency of micro and nanosystems. Together with partners from industry and research, we bring the developments into application.
ZfM at a Glance
Research News
PESM 2026: International Plasma Etch Workshop Moves to Grenoble – Call for Papers
Following the successful conference in Chemnitz in 2025, the Plasma Etch and Strip in Microtechnology (PESM) workshop series continues its journey across Europe. The 16th edition, PESM 2026, will take place in June 2026 in Grenoble, France.Read moreDDC Gold Award 2025 für das Konzept eines Ultraschallpflaster
Studierende der Hochschule für Gestaltung Schwäbisch Gmünd haben für ihr Projekt "Ultraview" den Gold Award des Deutschen Design Clubs erhalten. Forschende der TU Chemnitz und des Fraunhofer ENAS haben mit ihren Ultraschallwandlern die Machbarkeitsanalyse für die Ultraschallpflaster zur kontinuierlichen medizinischen Überwachung unterstützt.Read moreEleonore-Dießner-Preis 2025 für Anne-Katrin Schumanns Masterarbeit am ZfM
Der Eleonore-Dießner-Preis ging dieses Jahr für die Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik an Anne-Katrin Schumann für ihre hervorragende Masterarbeit zum Thema „Simulation und Charakterisierung von Gitterkopplern für photonische integrierte Schaltungen auf Basis von Aluminiumnitrid-Wellenleitern“.Read moreThere is even more. Read all the research news.


