PESM 2025 Konferenz in Chemnitz

19.Feb.2025   Reseach News

Im Juni 2025 lockt die PESM 2025 Konferenz internationale Experten im Bereich des Trockenätzens für die Mikro-, Nano und Bioelektronik nach Chemnitz. Zum ersten Mal findet die Veranstaltung dank der Zusammenarbeit des Fraunhofer ENAS und Fraunhofer IPMS im Silicon Saxony statt. Das Fraunhofer ENAS ist ein enger Kooperationspartner des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien der TU Chemnitz.

Die PESM 2025, das 15. Ereignis dieser Reihe, wird vom 16. bis 17. Juni 2025 in Chemnitz stattfinden. Die Konferenz bietet ein Forum für offene Diskussionen zwischen Wissenschaft und Technik und richtet sich an Wissenschaftler, Prozessingenieure, Doktoranden sowie industrielle Partner im Bereich Trockenätzen und anderer vakuumbasierter Plasmaverfahren.

Eingeladene Referenten:

• Frank Bösenberg, Silicon Saxony
• Fabrice Nemouchi, CEA-Leti
  Superconducting BEOL for quantum applications
• Mathieu de Lafontaine, University of Ottawa
  III-V Heterostructure Plasma Etching for Low Cost and High Efficiency Photonic Devices
• Nicolas Daval, quobly
  Manufacturing silicon qubits as we manufacture transistors
• Atefeh Fathzadeh, imec
  Transient Assisted Processing (TAP): An Optimized Balance of Sustainability, Precision, and Throughput for Advanced Processing
• Timo Gans, Dublin City University
  Nanosecond-Sensing and Control of Radio-Frequency Driven Plasmas
• Johann Foucher, POLLEN METROLOGY
  Perspectives of AI in plasma processing

Die Konferenz fokussiert sich auf Herausforderungen im Plasmaätzen und Reinigen für Halbleiter- und Speicheranwendungen, More-than-Moore- sowie Quantum-Anwendungen. Zusätzlich gibt es spezielle Sitzungen zur Gasphasenreinigung, isotropen Ätzkonzepten & Konditionierung sowie Prozessdiagnostik, Modellierung und Datenanalyse.

Weitere Informationen finden Sie auf der Konferenz-Website.