Patent für miniaturisierte Ultraschallwandler

06.Mar.2026   Reseach News

Die wissenschaftlichen Mitarbeitenden des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien der TU Chemnitz haben offiziell ihre Urkunde für ein neues Verfahren zur Herstellung von miniaturisierten Ultraschallwandlern (Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer - PMUT) erhalten.

Am 18.02.2026 wurde den Forschenden das neue Verfahren unter der Patentnummer EP4461422 vom europäischen Patentamt erteilt. 

Das neue Verfahren ermöglicht es dem Forschungsstandort Standort Chemnitz Ultraschallwandler auf Siliziumwafern herzustellen und in kürzester Zeit bereitzustellen. Zusätzlich ist es möglich PMUTs entsprechend der Anforderungen von Forschungs- und Entwicklungspartnern aus Industrie und Academia hoch effizient zu modifizieren. Das ZFM erweitert damit sein Forschungsportfolie für innovative Anwendungen im Bereich des Ultraschalls innerhalb kürzester Entwicklungszeiten.