Finished Projects
See also Current Projects
CopperPaste Entwicklung und Charakterisierung von Pastengemischen und Galvanikprozessen zur Herstellung wärmeleitfähiger Bohrlochfüllungen von Leiterplatten für Hochstromanwendungen sowie Adressierung von Fragen der Zuverlässigkeit von Paste und Füllung
| Local Project Manager: | Prof. Karla Hiller |
| Project Leader: | Prof. Karla Hiller |
| Duration: | 01.04.2022 bis 31.03.2024 |
DeDNAed - Cluster decorated recognition elements on DNA origami for enhanced Raman spectroscopic detection methods
| Local Project Manager: | Julia Hann |
| Project Leader: | Dr. Danny Reuter |
| Partners: | KSI Meinsberg, Universität Potsdam, CIC bioma GUNE, tecnalia, BNN |
| Duration: | 01.03.2021 bis 29.02.2024 |
| Aims of the Project: | The project “DeDNAed” intends to develop a novel, innovative biosensing platform whose advantages and benefits are in terms of sensitivity, versatility and being ultrafast by an optical approach. Our platform will be based on the assembly and integration of sensing elements (transducer and bioreceptor) by DNA origami. The DNA origami will serve as a “nano-breadboard” in order to precisely control the position of these elements and thus the sensor architecture at the nanometer scale. |
| Project Homepage: | https://dednaed.eu/ |
VE-VIDES - Verbundprojekt: Designmethoden und HW/SW-Co-Verifikation für die eindeutige Identifizierbarkeit von Elektronikkomponenten - VE-VEVIDES
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.03.2021 bis 29.02.2024 |
PermanentBond Entwicklung einer Fügetechnologie auf Waferebene, welche es ermöglicht Glas/Silizium/ Lithiumtantalat Verbünde mit einem TTV < 5µm materialschonend herzustellen und Entwicklung eines Analyseprozesses für materialspezifische Prozessansprüche
| Local Project Manager: | Prof Karla Hiller |
| Project Leader: | Prof Karla Hiller |
| Duration: | 01.03.2022 bis 29.02.2024 |
DFG: NanoCon - Niederohmige Kontakte für Kohlenstoffnanoröhren-basierte Hochfrequenz Feld-Effekt Transistoren
| Project Leader: | Dr. Sascha Hermann |
| Duration: | 01.01.2021 bis 31.12.2023 |
DFG: MemDPU - "Domino Processing Unit: Auf dem Weg zum hocheffizienten In-Memory-Rechenwerk (MemDPU)" im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Memristive Bauelemente für intelligente technische Systeme"
| Project Leader: | Dr. Nan Du |
| Duration: | 01.01.2021 bis 31.12.2023 |
Cattle Observer UtBr- IntellCaOb / Systemintegration und Packaging
| Local Project Manager: | Prof. Karla Hiller |
| Project Leader: | Prof. Karla Hiller |
| Duration: | 01.07.2021 bis 31.12.2023 |
BMBF: UpFUSE - Verbundprojekt: Erforschung passiver Funk-Sensorsysteme zur Energieautarken Erschütterungs- und Vibrationsüberwachung - ForMikro-UpFUSE -, Teilvorhaben: Entwicklung nanoionischer Speicher und Kopplung mit piezoelektrischen MEMS
| Local Project Manager: | Dr. Sven Zimmermann (Verbundprojekt-Koordinator) |
| Project Leader: | Dr. Sven Zimmermann |
| Partners: | Ruhr Universität Bochum, Universität Paderborn, Fraunhofer ENAS |
| Duration: | 01.10.2019 bis 30.09.2023 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/UpFuse/index.php |
DFG: MemCrypto - "Auf dem Weg zu sicheren elektroformungsfreien memristiven kryptografischen Implementierungen (MemCrypto)" im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Nano Security: Von Nanoelektronik zu Sicheren Systemen"
| Project Leader: | Dr. Nan Du |
| Duration: | 01.10.2020 bis 30.09.2023 |
DFG: NANOSEC - Thema "Manipulationssichere PUFs basierend auf Nanostrukturen für sichere und robuste Hardwaresicherheits-Primitive" im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Nano Security: Von Nanoelektronik zu Sicheren Systemen"
| Project Leader: | Dr. Sascha Hermann |
| Duration: | 01.09.2020 bis 31.08.2023 |
SMUL: Wassermonitor - "Wassermonitor-NanOpt, Mobiles nano-optisches Wasserqualitätsmonitoring-System"
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.08.2020 bis 31.07.2023 |
CHARM - Verbundprojekt: Elektroniksysteme für extrem robuste IoT- und KI-Anwendungen, Teilvorhaben: Zuverlässigkeitsuntersuchungen und virtuelles Prototyping für Elektronik unter rauen Einsatzbedingungen
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Partners: | CHARM is an extensive three-year project with 37 partners from 10 European countries. The project consortium consists of 11 small and mid-sized enterprises, 14 large enterprises and 12 research and technology organisations. They represent the industrial value chain from simulations, sensors and components to packaging, integration and reliability as well as connectivity, cloud and cyber security solutions. |
| Duration: | 01.06.2020 bis 31.05.2023 |
| Aims of the Project: | The CHARM ECSEL JU project aims to develop industrial IoT (Internet of Things) solutions with an improved tolerance towards harsh industrial surroundings. Digitalisation of the European manufacturing industries is the key to their continuous renewal and competitiveness. Harsh environmental conditions in manufacturing processes and end user environment may slow down the opportunities brought by IoT and AI (Artificial Intelligence). The CHARM (Challenging environments tolerant Smart systems for IoT and AI) project is set to solve this challenge. |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/charm/index.php.en |
POLAR - Verbundprojekt: Pyroelektrischer, Hafniumoxid-basierter digitaler Sensor Teilvorhaben: Technologieentwicklung und mikromechanische Strukturierung Sensorchip
| Local Project Manager: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Project Leader: | Dr.-Ing. habil Norbert Neumann, InfraTec GmbH |
| Partners: | InfraTec GmbH, Infrarotsensorik und Messtechnik (Koordinator), AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Fraunhofer IPMS-CNT, Zentrum für Mikrotechnologien der TU-Chemnitz, Hugo Müller GmbH & Co. KG (assoziierter Partner) |
| Duration: | 01.05.2019 bis 30.04.2023 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Polar/index.php |
EU: SixthSense - Lebensrettende Technologie zur Gesundheitsüberwachung mit sensorischem Feedback zur Verbesserung des Situationsbewusstseins
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.05.2020 bis 30.04.2023 |
BMBF: diVIBES - Digitale 3D Breitband-Vibrationssensoren zur verbesserten Maschinenüberwachung durch maschinelles Lernen
| Local Project Manager: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Project Leader: | Dr. Detlef Billep, EDC |
| Partners: | Electronic Design Chemnitz GmbH, X-FAB MEMS Foundry GmbH Erfurt, SPEKTRA Schwingungstechnik und Akustik GmbH Dresden, FusionSystems GmbH Chemnitz, Fraunhofer ENAS, Chemnitz |
| Duration: | 01.03.2020 bis 28.02.2023 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/DiVibes/index.php |
SRCC-SmartWindow - WIR Smart Rail Connectivity Campus - Transparente Displays für kollektive visuelle Fahrgastinformationen
| Local Project Manager: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.02.2021 bis 31.01.2023 |
HyLight4Rail - Hyperspektraler LIDAR-Sensor unter Laborbedingungen – spektrale Materialidentifikation, Validierung und Technologiesteuerung
| Local Project Manager: | Dr. Danny Reuter |
| Project Leader: | Dr. Danny Reuter |
| Duration: | 01.08.2021 bis 31.01.2023 |
SELETCH - Rationales Design der selektiven thermischen Atomlagenaetzprozesse durch Computerchemie
| Project Leader: | Dr. Xiao Hu |
| Duration: | 01.10.2019 bis 31.12.2022 |
FASTMEMS - Funktionale Aluminium-Scandium-Targets zur Herstellung piezoelektrischer MEMS
| Local Project Manager: | Dr. Chris Stoeckel |
| Project Leader: | Dr. Sven Zimmermann |
| Partners: | robeko GmbH & Co. KG |
| Duration: | 01.01.2021 bis 31.12.2022 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/FastMEMS/index.php.en |
UltimateGaN - Verbundprojekt Teilvorhaben: Zuverlässigkeitsbewertung und Lebensdauermodellierung von GaN-basierten Leistungsbauelementen
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.05.2019 bis 31.10.2022 |
TMR2 - Kristallisationsmechanismen von CiFeB-basierten TMR-Schichtstapeln bei Laser-Annealing
| Local Project Manager: | Prof. Dr. Schulz |
| Project Leader: | Prof. Dr. Schulz |
| Duration: | 01.01.2020 bis 30.09.2022 |
GeoTech - Geometrisch skalierte Spulen für das induktive Transient Liquid Phase (TLP)- Waferbonden in der Mikrosystemtechnik
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.04.2020 bis 30.09.2022 |
MoNaUhr - Neuartiges, multifunktionales Mikrosystem zur Detektion und Anzeige von Umweltdaten in einer mechanischen Uhr
| Local Project Manager: | Dr. Danny Reuter |
| Project Leader: | Dr. Danny Reuter |
| Partners: | Mühle-Glashütte GmbH nautische Instrumente und Feinmechanik; ADZ Nagano; Sächsische Uhrentechnologie Glashütte |
| Duration: | 01.03.2019 bis 31.08.2022 |
Scale Phase 2 - Skalierung von Fügetechnologien in Produktionsprozesse für mikro-und makroskopische Anwendungen
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.09.2019 bis 31.08.2022 |
Nanolot - gradierte Nanoverbundwerkstoffe mit funktionsorientierten Eigenschaften zur Verarbeitung mit additiven Fertigungstechnologien
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.02.2020 bis 31.07.2022 |
Landvermessung - Automatische Landvermessung 5.0, Digitales 3D-Raumvermessungssystem
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.01.2020 bis 30.06.2022 |
intense2020 - Intelligente Energieversorgung und Sensorik für die Automobilelektronik der Zukunft
| Local Project Manager: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Project Leader: | Dr. O. Pyper, Infineon Technologies Dresden GmbH |
| Partners: | Infineon Technologies Dresden GmbH, Fraunhofer ENAS |
| Duration: | 15.02.2018 bis 31.05.2022 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Intense2020/index.php |
SAB: ALMET - Anlagen und Prozesse fuer die Atomlagenabscheidung metallischer Duennschichten
| Project Leader: | Dr. Andreas Zienert |
| Partners: | Fraunhofer ENAS, Scia Systems GmbH, FAP GmbH |
| Duration: | 01.02.2017 bis 31.12.2021 |
| Aims of the Project: | Teilprojekt des ZFM: Simulation der Chemie von Cobalt- und Kupfer-Precursoren fuer die ALD |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/almet.php |
SAB: Momentum - Entwicklung eines neuen 22 FDX Technologie-Knotens zum Industrie-Benchmark fuer den Kennwert PPA
| Project Leader: | Dr. Andreas Zienert |
| Partners: | GLOBALFOUNDRIES, Fraunhofer ENAS, u.a. |
| Duration: | 01.11.2018 bis 31.10.2021 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/momentum.php |
BMBF: smartStar - Entwicklung, Integration und Charakterisierung von miniaturisierten CNT-Sensoren fuer selbsttestende Elektroniksysteme
| Project Leader: | Dr. Sascha Hermann |
| Partners: | Bosch, Fraunhofer ENAS, u.a. |
| Duration: | 01.09.2018 bis 31.08.2021 |
AiF IGF: 3D Robojet - Robotergeführter Injektdruck von funktionalen Schichten auf dreidimensionale (3D) Objekte
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.03.2019 bis 31.07.2021 |
BMBF: MetaQuant - Kombination von Metamaterialien mit Quantum Dot LEDs zur Optimierung ihres Abstrahlverhaltens
| Local Project Manager: | Dr. Danny Reuter |
| Project Leader: | Zentrum für Mikrotechnologien |
| Partners: | TU Chemnitz |
| Duration: | 01.07.2019 bis 30.06.2021 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Metaquant/index.php |
AiF IGF: Insight - Induktives Sintern von gedruckten mikro- und nanoskalierten Zwischenschichten zum Fügen mikroelektronischer Komponenten
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.06.2018 bis 31.05.2021 |
AiF/ZIM: Indu2Mikro - Spulenentwicklung für einen definierten Wärmeeintrag bei kleinen Bauteilen
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.06.2019 bis 31.05.2021 |
DFG: PoNI - Kombination spektroskopischer Verfahren zur Erforschung grundlegender Mechanismen der Poren- und Netzwerkbildung in mesoporoesen low-k-Dielektrika
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan E. Schulz |
| Partners: | Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf |
| Duration: | 01.05.2018 bis 30.04.2021 |
AiF IGF: FOSTA - Verbesserung des Einsatzverhaltens von Werkzeugen der Warmformgebung durch nitriergerechte Auswahl von Warmarbeitsstählen
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.01.2018 bis 30.04.2021 |
AiF IGF: SINTER - Einflussgrößen-Wirkungsanalyse Lebensdauerabschätzung hoch stabiler Verbindungen in der Leistungselektronik
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.11.2018 bis 30.04.2021 |
SAB/SMWK: Leistungs-/Transferzentrum Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Partners: | Fraunhofer ENAS, IIS-EAS, IPMS, IZM-ASSID; TU Dresden; HTW Dresden |
| Duration: | 10.05.2019 bis 31.12.2020 |
| Project Homepage: | https://www.leistungszentrum-mikronano.de/ |
AiF/ZIM: Demenz - System zur Unterstützung demenzkranker Patienten in Pflegeheimen, Entwicklung der Messplatz-Funktionen
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.09.2018 bis 31.12.2020 |
SAB: Lenore2 - Entwicklung einer Sensorplattform aus der Kombination von DNA Origami und einem 2D-Metamaterial
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.09.2020 bis 19.11.2020 |
DFG: Plasmasensor - Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
| Project Leader: | Dr. Sven Zimmermann |
| Duration: | 01.06.2017 bis 28.08.2020 |
| Aims of the Project: | Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Plasmasensor/index.php.en |
SAB: E-PISA - Energieautarke, drahtlose Piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0
| Local Project Manager: | Dr. Chris Stöckel |
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Partners: | Professur Innovationsforschung und Technologiemanagement, Professur Mikrosysteme und Medizintechnik, Professur für Mikrotechnologie, Professur Nanoelectronics Technologies, Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme, Professur Halbleiterphysik, Professur für Innovationsforschung und Technologiemanagement |
| Duration: | 01.07.2017 bis 30.06.2020 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/EPisa/index.php |
SAB: Lenore - Entwicklung einer Sensorplattform aus der Kombination von DANN Origami und einem 2D-Metamaterial
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 01.05.2020 bis 16.06.2020 |
SAB: DeDNAed - Entwicklung eines hochsensitiven Biosensorikverfahrens auf Basis der Ramansignalauswertung mittels oberflächenverstärkter Ramanspektroskopie von mit Atomclustern funktionalisierten Markermolekülen assembliert auf einem DNA-Origami
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 16.03.2020 bis 03.06.2020 |
EU/BMBF/SMWA: SILENSE - Zuverlässigkeitsforschung für smarte ultraschallbasierte MEMS-Sensor-Systeme
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.04.2017 bis 31.03.2020 |
SAB: Almet - Anlagen und Prozesse für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan Schulz |
| Duration: | 01.02.2017 bis 31.01.2020 |
DFG: Interfacial perpendicular magnetic anisotropy for next-generation monolithic 3D TMR sensors
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan E. Schulz |
| Partners: | Hochschule Mittweida, Laserinstitut, Prof. Dr. H. Exner; TU Chemnitz, Institut fuer Physik, Prof. Dr. G. Salvan |
| Duration: | 01.01.2016 bis 31.12.2019 |
DLR/BMWi: TransMan - Transitions-Manipulation
| Local Project Manager: | Martin Schüller |
| Project Leader: | Dr. Jörg Nestler |
| Duration: | 01.07.2016 bis 31.12.2019 |
SAB: miniModul - Hochminiaturisiertes Spektrometermodul für die IR-Gassensorik
| Local Project Manager: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Project Leader: | Dr.-Ing. habil Norbert Neumann, InfraTec GmbH |
| Partners: | InfraTec GmbH Dresden, Infrarotsensorik und Messtechnik |
| Duration: | 01.08.2016 bis 31.12.2019 |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/minimodul/minimodul.php |
AiF IGF: Adept - Verbesserte Elektropoliertechnologien zur formtreuen Oberflächenbehandlung
| Project Leader: | Dr. Danny Reuter |
| Duration: | 01.09.2017 bis 30.11.2019 |
SAB: QDNA-Sensor - Entwicklung eines Biosensorikverfahrens auf Basis von supernano-QDs und DANN Origami als modulares Template
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Duration: | 29.05.2019 bis 18.09.2019 |
AiF IGF: HeInaMet - Heterogene Integration von Substraten mittels nanoporöser Metallschichten
| Project Leader: | Dr. Danny Reuter |
| Duration: | 01.03.2017 bis 31.08.2019 |
BMBF: MSSpinCrash - Multisensorsystem zur Spindeldiagnose und Crash-Detektion in Werkzeug-maschinen sowie Einbindung in Industrie 4.0 Prozesse
| Local Project Manager: | Dr. Danny Reuter |
| Project Leader: | Lenord, Bauer & Co GmbH |
| Partners: | Lenord, Bauer & Co. GmbH, AMAC GmbH, HEckert GmbH, TU Chemnitz |
| Duration: | 01.02.2016 bis 31.07.2019 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/SPinCrash/index.php |
SAB/SMWK: MinaH
| Project Leader: | Frau Prof. Karla Hiller |
| Duration: | 01.08.2016 bis 31.07.2019 |
AiF/ZIM: Scale - Skalierung von Fügetechnologien für mikro-und makroskopische Produktionsprozesse
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.06.2019 bis 31.05.2019 |
DFG: InterKoop - Aufbau internationaler Kooperationen zum Thema chronische neurale Stimulation
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 27.07.2018 bis 03.05.2019 |
AiF IGF: InduBond - Erarbeitung einer induktiven Fügetechnologie zum Bonden von mikroelektronmechanischen Systemen (MEMS)
| Local Project Manager: | Christian Hofmann |
| Project Leader: | Dr. Sven Zimmermann |
| Duration: | 01.01.2016 bis 31.03.2019 |
DFG: cfAED Center for Advancing Electronics ( Cluster of Ecellence) -BAC path
| Local Project Manager: | Dr. Jörg Nestler |
| Project Leader: | PI TUC: Prof. Dr. Thomas Otto |
| Partners: | Technische Universität Dresden |
| Duration: | 01.11.2012 bis 31.12.2018 |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/cfaed.php.en |
DFG: MERGE - Cluster of Excellence - Domain D - Micro- and nanosystems integration for hybrid structures
| Local Project Manager: | Martin Schüller |
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Otto |
| Partners: | TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS |
| Duration: | 01.11.2012 bis 31.12.2018 |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/merge.php.en |
DFG: FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 5
| Project Leader: | Prof. Stefan E. Schulz |
| Partners: | Professur Anorganische Chemie / Prof. Heinrich Lang |
| Duration: | 01.01.2015 bis 31.10.2018 |
SAB: EVOLVE
| Project Leader: | Dr. Andreas Zienert |
| Partners: | Fraunhofer ENAS, GLOBALFOUNDRIES, TU Dresden, Fraunhofer IPMS-CNT |
| Duration: | 01.04.2015 bis 30.09.2018 |
| Aims of the Project: | Unterauftrag des Fraunhofer ENAS an das ZfM: ?Modellierung der thermodynamischen und Transporteigenschaften von Präkursoren und möglichen Reaktionsprodukten für die Abscheidung tantalbasierter Barrieren mittels Atomlagenabscheidung? |
EC: StrengthABLE
| Local Project Manager: | Frau Prof. Karla Hiller |
| Project Leader: | Frau Prof. Karla Hiller |
| Partners: | The JRP-Consortium consists of a core of 6 National Metrology Institutes (NMIs) and Designated Institutes (DIs), complemented by 7 universities and research institutes and 5 industrial partners; therefore, the project will facilitate joint working between NMIs, scientific community and industry. The consortium brings together broad experience and world-leading expertise in the complementary areas needed to ensure the success of this project |
| Duration: | 01.06.2015 bis 31.05.2018 |
| Aims of the Project: | Strength-ABLE is a three year collaborative European project that will generate design rules and new measurement techniques to exploit the opportunity to length-scale engineer materials into more sustainable/energy efficient industrial components that are lighter, stronger, fatigue and wear resistant. |
| Project Homepage: | http://empir.npl.co.uk/strength-able/ |
AIF/ZIM: TAPYR
| Project Leader: | Tobias Seifert |
| Duration: | 01.03.2016 bis 28.02.2018 |
DFG: FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 3b
| Project Leader: | Prof. Karla Hiller |
| Duration: | 01.02.2015 bis 31.01.2018 |
FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 8b
| Project Leader: | Prof. Thomas Otto |
| Duration: | 01.01.2015 bis 31.12.2017 |
SAB/SMWK: Leistungszentrum Funktionsintegration für die Mikro- und Nanoelektronik
| Local Project Manager: | Prof.Dr. Stefan Schulz |
| Project Leader: | Hr. Herre, Fraunhofer IPMS |
| Partners: | Fraunhofer ENAS, Fraunhofer IIS-EAS, Fraunhofer IPMS, Fraunhofer IZM-ASSID, HTW Dresden, TU Dresden |
| Duration: | 12.02.2016 bis 31.12.2017 |
| Aims of the Project: | Nano- und Mikroelektronik durchdringen heute alle Lebensbereiche. Mit dem Internet der Dinge und Industrie 4.0 steigt nicht nur die Nachfrage, auch die Anforderungen an die Systeme wachsen: Die Bauteile muessen kuenftig noch mehr Funktionen integrieren koennen, noch kleiner und staerker vernetzt sein. Die Wettbewerbsfaehigkeit und Innovationskraft von Unternehmen im Bereich Elektronik entscheidet sich heute in dem Maße, wie schnell sie auf neueste technologische Entwicklungen zugreifen koennen. Dabei sind schnelle und effektive Entwicklungen von Loesungen aller Teilaspekte einer Applikation erforderlich. Ziel ist es, Wettbewerbsfaehigkeit und Innovationskraft insbesondere der mittelstaendischen Firmen in Sachsen in den Bereichen Sensorik und Aktorik, Messtechnik sowie im Maschinen- und Anlagenbau durch eine schnelle Ueberfuehrung von Forschungsergebnissen in innovative Produkte zu staerken. Als Erstes erarbeiten die Partner eine gemeinsame Technologie- und Entwicklungsplattform fuer innovative Bauelemente und Systeme und damit die inhaltliche Basis fuer alle weiteren Arbeiten. Dazu fuehren sie gegenwaertig Entwicklungsarbeiten durch, Fraunhofer ENAS leistet Beitraege bei innovativen Komponenten und Fertigungstechnologien, heterogene Systemintegration und Zuverlaessigkeitsbewertung. |
| Project Homepage: | https://www.leistungszentrum-mikronano.de/ |
VW-Stiftung: VW-Projekt (Phase 2): Piezoresistive Carbon Nanotubes for condition monitoring and reliability considerations
| Local Project Manager: | Dr. Sascha Hermann |
| Project Leader: | Prof. Dr. T. Geßner |
| Partners: | Prof. Dr. J. Mehner, Prof. Dr. B. Wunderle |
| Duration: | 01.01.2014 bis 31.05.2017 |
| Aims of the Project: | In the first project phase the fundamentals for the investigation and application of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) as piezoresistive sensing elements have been laid. With this research an actual batch processing compatible CNT/MEMS technology has been demonstrated for the first time. A MEMS test stage has been realized allowing to investigate mechanical and electrical properties of CNTs under mechanical load and to perform reliability studies on the CNT-metal interface. In the project renewal we will intensify those studies with a novel analytical approach on the one hand. With our wafer level technology we will realize a test system to do in situ transmission electron microscopy investigations providing unique insights into the CNT-metal contact physics under well-controllable strained condition. On the other hand we will bring fundamental investigations as well as CNT sensor technology to the next level by focusing on single-walled CNTs with a strongly restricted chiral distribution. This will enable a new class of high sensitive and strongly miniaturized devices allowing to pass from a static application to high frequency CNT-based piezoresistive vibration sensors for condition monitoring. |
AiF/ZIM: PyroMOD
| Project Leader: | Prof. Thomas Otto |
| Duration: | 01.09.2014 bis 31.08.2016 |
DFG: NanoReaktif: Neuartige nanoskalige reaktive Materialsysteme als interne Wäremquelle für Fügeverfahren
| Project Leader: | Prof. Thomas Geßner |
| Duration: | 01.07.2014 bis 30.06.2016 |
BMBF: VIP SERON - Miniaturisiertes Durchfluss-SERS-Spektrometer mit in-situ Nanopartikelgeneration für Online-Monitoring Anwendungen
| Project Leader: | Dr. Jörg Nestler |
| Duration: | 01.11.2013 bis 30.04.2016 |
DFG: MCT-ACE kap US-Sensor
| Project Leader: | Prof. Thomas Geßner |
| Duration: | 01.04.2013 bis 31.12.2015 |
AiF: SprühTopo: Sprühbeschichtung als alternative Beschichtungstechnologie für Substrate mit unterschiedlichen Größen und Topographien
| Project Leader: | Gunther Schwenzer |
| Partners: | micro resist technology GmbH, Westsächsische Hochschule Zwickau - Fakultät Elektrotechnik |
| Duration: | 01.05.2012 bis 30.11.2015 |
| Aims of the Project: | Das Ziel des Projekts ist die Entwicklung eines Negativspruehlackes und der dazugehoerigen Prozesstechnologie fuer eine materialsparende Spruehbeschichtung zur Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung von klebfreien, homogenen Schichten auf Substraten unterschiedlicher Groessen und Topographien. Es ist weiterhin der Prozess der homogenen Beschichtung auf Substraten mit Topographien bis zu 300?m von nasschemischen geaetzten Strukturen mit typischen Boeschungswinkeln von 54? und von trockenchemisch tiefengeaetzten Strukturen mit bis zu 90? Kantenwinkeln zu entwickeln. Dabei sollen die Schichten eine gleichmaessige Schichtdicke und vor allem eine ausreichende Kantenbedeckung im Schichtdickenbereich zwischen 3 ?m bis 30 ?m aufweisen. Die Prozessentwicklung der Strukturierung des Negativlackes auf Topographien und die Prozessentwicklung der Strukturuebertragung, sowie die Charakterisierung der erzeugten Strukturen ist ebenso Bestandteil des Projektes. |
BMBF: GIPRIS: Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau
| Project Leader: | Dr. Danny Reuter |
| Partners: | Hamm AG, SITEC Industrietechnologie GmbH, NOVATEC Biosol, Trumpf Medizin Systeme GmbH (Assoziierter Projektpartner), MPD Microelectronic Packaging Dresden, Kunststoffzentrum in Leipzig gGmbH, TUC-MGT, Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH |
| Duration: | 01.10.2012 bis 30.09.2015 |
| Aims of the Project: | Das Zentrum f?r Mikrotechnologien der TU Chemnitz ist in diesem Projekt f?r zwei Aufgabenschwerpunkte zust?ndig. Der erste Schwerpunkt besteht darin, hochpr?zise Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bereitzustellen. Kern dieser Aufgabe ist dabei die Entwicklung eines neuen Konzeptes zur drastischen Erh?hung der Sensorempfindlichkeit und dessen technologische Umsetzung. Der zweite Aufgabenschwerpunkt besteht in der Charakterisierung der hergestellten Sensoren hinsichtlich ihres D?mpfungsverhalten, Polarisationsspannung und Bestimmung der Sensorparameter bez?glich der anwenderbezogenen Anforderungen an das Gesamtsystem. |
EU: MechProNo
| Project Leader: | Prof. Karla Hiller |
| Duration: | 01.01.2014 bis 31.08.2015 |
BMWi: NASE - Nanoskaleneffekte für metallische Niedertemperaturverfahren
| Project Leader: | Prof. Dr. Thomas Geßner |
| Duration: | 01.09.2012 bis 28.02.2015 |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Nase/nase.php |
IGF-Vorhaben 17367 BR: Remtec - Entwicklung von Kontaktier- und Verbindungstechniken auf Basis galvanisch abgeschiedener reaktiver Mehrschichtsysteme
| Project Leader: | Dr. Bräuer |
| Partners: | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Fraunhofer IWS, Fraunhofer ISIT |
| Duration: | 01.12.2011 bis 30.11.2014 |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/remtec/remtec.php |
SAB/SMWK: BENGALOS: Untersuchung prozessbedingter Einflüsse des BEOL auf elektrische und mechanische Eigenschaften in Sub-30nm CMOS-Technologien
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan E. Schulz |
| Partners: | GLOBALFOUNDRIES, Fraunhofer CNT |
| Duration: | 01.01.2013 bis 30.09.2014 |
| Aims of the Project: | Teilvorhaben Technische Universität Chemnitz, ZfM: Neuartige Technologie zur Integration von ultra low-k-Materialien, Reinigungsprozesse für die Sub-30nm CMOS Technologien und Untersuchungen zur Plasmainduzierten Schädigung im FEOL durch BEOL-Prozessierung (CALIPI) |
SAB/SMWK: VERIMIS: Vertikale NEMS/MEMS-Integration in intelligente Sensorknoten
| Project Leader: | Sven Voigt |
| Partners: | KSG Leiterplatten GmbH, Fraunhofer ENAS, Microelectronic Packaging Dresden GmbH, BuS Elektronik GmbH & Co. KG, DIGADES GmbH |
| Duration: | 01.09.2012 bis 31.08.2014 |
| Aims of the Project: | Ziel des Vorhabens war die Erarbeitung einer neuen Durchkontaktierungstechnologie f?r MEMS/NEMS-Komponenten auf Basis von vertikalen Terminals und die Integration und Evaluierung eines MEMS-basierten Wake-Up-Receivers in multifunktionale Sensorknoten. Dazu waren vertikale Terminals zu entwickeln, die eine direkte elektrische Verbindung vom MEMS zu den Anschlusspads ohne eine zus?tzliche Zwischenebene erm?glichen. |
DFG: Forschergruppe 1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme TP5
| Local Project Manager: | Dr. Sascha Hermann |
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan E. Schulz / Prof. Dr. Heinrich Lang |
| Duration: | 01.06.2011 bis 31.05.2014 |
| Aims of the Project: | Subproject 5 is targeted on the establishment of technological basics for the integration of carbon nanotubes (CNT) in MEMS/NEMS. Therefore the CVD (Chemical Vapor Deposition) method as well as the DEP (Dielectrophoresis) process will be deployed, whereby especially integrative aspects like scalability and reproducibility will be emphasized. Focal point is the specific placement and orientation of semi-conductive CNTs in special test and sensor structures. Thereby vital technological challenges like type selectivity, bonding, and complete integration at wafer-level will be addressed. Progressive simulation and also in situ methods will be applied for the development of the process. The functionalization of CNTs for the modification and extension of the sensor behavior is another main point. New precursors for the production of metallic and semi-conductive functionalizations will be developed and characterized. Processes like ALD (Atomic Layer Deposition) will be applied for their deposition. |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/for1713 |
DFG: Hochempfindliche Bewegungsdetektion auf Basis feldemittierender Kohlenstoffnanoröhren
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan E. Schulz |
| Partners: | Professur MGT (Prof. Dr. Jan Mehner) |
| Duration: | 01.10.2011 bis 30.09.2013 |
| Aims of the Project: | Die Detektion kleinster Bewegungen ist eines der Hauptanwendungsgebiete mikro- und nanoelektromechanischer Systeme (MEMS/NEMS). Bisherige Ansätze verwenden hierzu piezoresistive, piezoelektrische oder kapazitive Messprinzipien. Diese Prinzipien sind jedoch größtenteils ausgereift, so dass eine deutliche Sensitivitätserhöhung nur mit großem technologischen Aufwand realisiert werden kann. Alternativ kann eine Sensitivitätserhöhung über die Integration von Nanostrukturen in mikromechanische Systeme erreicht werden. In dem hier vorgeschlagenen Projekt wird ein solcher alternativer Ansatz verfolgt, bei dem Kohlenstoffnanoröhren (engl. Carbon Nanotubes, CNTs) zum Einsatz kommen. Als positionsabhängige Größe wird dabei der von den CNTs emittierte Feldemissionsstrom verwendet. Zu diesem Zweck werden die CNTs mittels Dielektrophorese in speziellen Teststrukturen integriert, die auf etablierten MEMS-Technologien aufbauen und diese erweitern. Die Integration sowie die notwendige Strukturierung der CNTs erfolgt dabei auf Waferebene. Die mechanischen und elektrischen Eigenschaften der Teststrukturen sind hinsichtlich einer hohen Sensitivität zu entwerfen und zu charakterisieren. Die Charakterisierung der CNT-Ausgangsmaterialen erfolgt über verschiedene elek-trische und spektroskopische Methoden. Die Ergebnisse der einzelnen Teilschritte schaffen die Grundlagen, um das Sensorprinzip innerhalb der Projektlaufzeit in einem Demonstrator umzusetzen. |
BMBF: Smarte organische Funktionssysteme für mobile Infektionsdetektion (SOFI)
| Local Project Manager: | Jörg Nestler |
| Partners: | Analytik Jena AG, PE IC Design GmbH, Circle Smart Card AG, Plasticard-ZFT GmbH, Fraunhofer IBMT |
| Duration: | 01.07.2009 bis 30.06.2012 |
SAB: CoolTrans: Energieeffiziente Anwendungen – Stressoren zur Erhöhung der Ladungsträgerbeweglichkeit in CMOS - Bauelementen
| Project Leader: | Prof. Dr. Stefan Schulz |
| Partners: | GLOBALFOUNDRIES, Dresden |
| Duration: | 01.06.2009 bis 31.05.2012 |
| Aims of the Project: | Energieeffiziente Anwendungen - Stressoren zur Erhöhung der Ladungsträgerbeweglichkeit in CMOS - Bauelementen Teilthema "Materialevaluierung und Simulation zum Stresseintrag" Zur Erhöhung der Geschwindigkeit von CMOS-Bauelementen muss die Ladungsträger-beweglichkeit im Transistorkanal erhöht werden. Dazu können gezielt mechanische Spannungen in den Halbleiter eingebracht werden. Gegenwärtig geschieht dies z. B. durch Dotieren mit Germanium in den S/D-Gebieten, was Druckspannungen hervorruft. Diese wirken sich aber nur positiv auf die Löcherbeweglichkeit in p-MOS-Transistoren aus. Für n-MOS-Bauelemente sind Zugspannungen erforderlich. Dielektrische Stressor-Schichten stellen eine weitere, effektive Möglichkeit dar, die Geschwindigkeit von p-MOS-Transistoren aber auch von n-MOS-Transistoren zu erhöhen. Es sollen Herstellungsprozesse für dielektrische Stressoren basierend auf alternativen Stressoren, z. B. Si3N4, SiC:H oder DLC (diamond-like carbon) entwickelt werden sowie Simulationen des Einflusses der Stressorschichten und der Transistorgeometrie auf die Performance der Transistoren durchgeführt werden. |
AiF: Entwicklung eins chipbasierten VIS/NIR-Spektrometers zur Bestimmung der arteriellen Sauerstoffkonzentration (LeDSpek)
| Project Leader: | Prof. Otto |
| Partners: | Kardiologische Praxis Dr. Nagel; AEMtec GmbH Berlin |
| Duration: | 01.05.2010 bis 30.04.2012 |
X-FAB / Thüringer Aufbaubank: X-FAB HoKa
| Project Leader: | Dr. Knut Gottfried |
| Duration: | 01.04.2009 bis 28.02.2012 |
BMBF: ASTROSE - Autarkes Sensornetzwerk zum Monitoring in der Energietechnik
| Local Project Manager: | Dr. Andreas Bertz |
| Partners: | ENVIA GmbH Halle / RWE GmbH, Dortmund / Elmos Semiconductor AG, Dortmund / Microelectronic Packaging Dresden GmbH, Dresden / Audacia GmbH, Limbach-Oberfrohna / Unilab AG, Paderborn / Fhg IZM, Berlin / Fhg ENAS, Chemnitz |
| Duration: | 01.02.2009 bis 31.01.2012 |
BMBF: Mikrosysteme mit hierarchischen Polymermerstrukturen (mikrohips - Format 2)
| Local Project Manager: | A. Morschhauser |
| Partners: | Professur Marketing und Handelsbetriebslehre (TUC) / Zentrum für Mikrotechnologien (TUC) / Professur Digitaldruck und Bebilderungstechnik (TUC) / Professur Physikalische Chemie (TUC) |
| Duration: | 01.01.2010 bis 31.12.2011 |
SAB: SIMEC - Entwicklung einer Schlüsseltechnologie - Plattform zur Fertigung von neuartigen mikromechanischen Baugruppen aus Silizium
| Local Project Manager: | Dr. Andreas Bertz |
| Partners: | Uhrenmanufaktur Lang und Heyne GmbH, Dresden / Mühle-Glashütte / Fhg IZFP, Dresden / Sächsische Uhrentechnologie GmbH, Glashütte / Fhg ENAS, Chemnitz |
| Duration: | 01.11.2009 bis 31.10.2011 |
BMBF: NMR-Metabolit-Profil-Erstellung in der Stammzell-Nische (METASTEM)
| Partners: | IZKF Leipzig, Universitätsklinikum Leipzig, Max Planck Institut für Molekulare Genetik Berlin, NMR-Service Erfurt |
| Duration: | 01.10.2006 bis 30.09.2009 |
BMBF: Mikrosysteme mit hierarchischen Polymermerstrukturen (mikrohips)
| Local Project Manager: | Prof. Thomas Geßner |
| Project Leader: | Prof. Cornelia Zanger |
| Partners: | Professur Marketing und Handelsbetriebslehre (TUC) / Zentrum für Mikrotechnologien (TUC) / Professur Digitaldruck und Bebilderungstechnik (TUC) / Professur Physikalische Chemie (TUC) |
| Duration: | 01.11.2008 bis 30.04.2009 |
| Project Homepage: | http://www.tu-chemnitz.de/mikrohips |
UA: Präparation von Labormustern für MEMS Gyros / IMU MOCAP
| Local Project Manager: | Dr. Karla Hiller |
| Partners: | Industrieprojekt / Vertrag mit ENAS |
| Duration: | 01.10.2008 bis 31.03.2009 |
BMBF: Active Smart ID Label für die Transportüberwachung (ASIL); Teilvorhaben: Sensormodul und Sensormodulpackaging
| Partners: | KSW microtec Dresden, memsfab GmbH Chemnitz, ELMOS AG Dortmund, Schenker Deutschland AG Dresden |
| Duration: | 01.09.2005 bis 31.08.2008 |
BMBF: Erstellung eines Stategiekonzepts für ein Zentrum für Innovationskompetenz (ZIK) "Entwurfs- und Verifikationstechniken – Design Center Chemnitz"
| Partners: | FhG IZM, FhG IWU |
| Duration: | 01.03.2007 bis 28.02.2008 |
BMBF: VISULASE - Unterauftrag: Scannerpräparation
| Partners: | FhG-IZM; Robert Bosch AG |
| Duration: | 01.10.2004 bis 30.09.2007 |
BMBF: Entwicklung von robusten mikromechanischen Scannern für ein optisches Analysesystem; Teilvorhaben: Modulares optisches Analysesystem (MOPAL)
| Project Leader: | Prof. Thomas. Gessner |
| Partners: | FhG-IZM; Colour Control Farbmeßtechnik Chemnitz; Sentech Instruments Berlin; Endress + Hauser Conducta Geislingen; Microsystem Research Center Shanghai |
| Duration: | 01.08.2004 bis 31.07.2007 |
SMWK: NMR-Mikroresonatoren zur Einstellung von Metabolit-Profilen hämatopoetischer Stammzellen; Teilvorhaben: NMR-Mikroresonator
| Partners: | Universität Leipzig |
| Duration: | 01.07.2005 bis 30.06.2007 |
DFG : SFB 379 Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays, 4. Antragszeitraum (9 Teilprojekte)
| Local Project Manager: | Prof. Thomas Gessner |
| Partners: | 10 Lehrstühle der TU Chemnitz; FhG-IZM Berlin, Außenstelle Chemnitz |
| Duration: | 01.01.2004 bis 31.12.2006 |
| Project Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/sfb379.php |
SMWA: Tools zum Trockenätzen von Siliziumdioxid als neue Kerntechnologie der Mikrosystemtechnik (Teilthema Prozessentwicklung)
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | FHR Anlagenbau GmbH |
| Duration: | 01.06.2004 bis 30.11.2006 |
| Aims of the Project: | Development of dry etching tools for SiO2 as core technology for microsystems technology |
DFG: Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low k-Dielektrika
| Local Project Manager: | Dr. Stefan E. Schulz |
| Project Leader: | Prof. Thomas Geߟner |
| Partners: | TUC, Lehrstuhl Physik fester Körper |
| Duration: | 01.12.2004 bis 30.11.2006 |
AiF: Lasertrimmen von Feder-Masse-Aktuatoren auf Basis von Silizium
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | 3D-Micromac AG |
| Duration: | 01.07.2004 bis 30.06.2006 |
| Aims of the Project: | Laser trimming of silicon actuators |
BMBF: Prüf- und Qualitätssicherungssystem für die industrielle Fertigung von wafergebondeten Mikrosystemen (Mikroprüf), Teilvorhaben: Technologieentwicklung, Fertigung und Charakterisierung von Prüfstrukturen für die Bewertung der Bondqualität
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Project Leader: | Dr. H. Reinecke, Steag microParts GmbH |
| Partners: | FhG IWM Halle, TU Chemnitz, X-Fab GmbH, Robert Bosch GmbH, Hegewald & Peschke Mess- und Prüftechnik GmbH |
| Duration: | 01.11.2002 bis 30.04.2006 |
SMWA: Modular measurement system consisting of a tunable FPI and IR sensor - MODUL
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | Infra Tec GmbH Dresden, GEMAC mbh Chemnitz |
| Duration: | 01.09.2003 bis 31.08.2005 |
| Aims of the Project: | Development of layout and technology for a micromachined Fabry-Perot-Interferometer; Fabrication of prototypes |
BMBF: Electronic compensation of fabrication tolerances of microsystem products demonstrated for a multi sensor for navigation (EKOFEM)
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | LITEF GmbH Freiburg, GEMAC mbh Chemnitz, FhG IZM, Department Chemnitz |
| Duration: | 01.10.2001 bis 31.12.2004 |
| Aims of the Project: | Development of electronic compensation methods of fabrication tolerances and their application for a high precision silicon multisensor (acceleration and angular rate measurement) |
SMWA: Mikroelektronisches Zündelement für Insassen - Sicherheitssysteme
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | Flexiva automation & Anlagenbau GmbH, Amtsberg; Fahrzeugelektrik Pirna GmbH |
| Duration: | 01.10.2003 bis 31.12.2004 |
| Aims of the Project: | Development of a new airbag igniter |
SMWA: VIBSENS: Abstimmbares frequenzselektives Sensorsystem zur Messung mechanischer Schwingungen
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | GEMAC mbh Chemnitz |
| Duration: | 01.01.2002 bis 30.09.2004 |
EU: Optical Characterisation Methods for MEMS Manufacturing - OCMMM
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | GF Messtechnik GmbH (GFM), FhG.IWU, University of Twente-MESA, Thales Avionique (TH-AV), Yole Développement (YOLE), LioniX (LION), Warsaw University of Technology (WUT) |
| Duration: | 01.01.2001 bis 30.06.2004 |
| Aims of the Project: | Optical Characterisation Methods for MEMS Manufacturing |
Entwicklung von Packagingtechnologien für Bauelemente in Oberflächen- technologie
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Project Leader: | M. Krusche, Amtec GmbH |
| Partners: | FhG IWU, TU Chemnitz, Gemac GmbH, Amtec GmbH |
| Duration: | 01.05.2002 bis 30.04.2004 |
| Aims of the Project: | MEMS packaging for surface micro machined devices |
BMBF: Verbesserung der Performance von Ics durch Integration von Kupfer und low-k Dielektrika - PERFECT
| Local Project Manager: | Dr. Stefan E. Schulz |
| Project Leader: | Prof. Thomas Geߟner |
| Partners: | Infineon Technologies AG Munich, DaimlerChrysler AG Ulm, Dresden University of Technology, University of Hannover |
| Duration: | 01.11.2000 bis 28.02.2004 |
| Aims of the Project: | Application of Copper interconnects for mobile communication IC?s, power devices and micrometer wave devices; Integration of organic low k dielectrics into Copper Damascene metallization |
EU SEA: ACTION : Advanced CVD tool for integration of organosilicated nanoporous films
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner / Dr. S. E. Schulz |
| Project Leader: | ST Microelectronics, Crolles (F) |
| Partners: | AMD Saxony LLC & Co KG (D), Philips Res. Leuven (B), LETI Grenoble (F), Sematech (USA), TRIKON Technologies (UK) |
| Duration: | 01.05.2002 bis 31.01.2004 |
| Aims of the Project: | (selected) Provide organosilicated glass (OSG) material with a k-value of 2.2 for interconnect applications for the 90 nm node; Prove cluster tool for full inter metal dielectric (IMD) stack; Demonstrate flexibility for customized dual-damascene stack architectures; Show Cost-effectiveness compared to multi-tool Spin-on Dielectrics (SOD) methods; Demonstrate performance within a 300 mm production environment. www.sea.rl.ac.uk |
EU: ULISSE : Ultra low k dielectrics for Damascene copper interconnects schemes
| Local Project Manager: | Dr. Stefan E. Schulz |
| Project Leader: | Prof. Thomas Geߟner |
| Partners: | Infineon Technologies, Philips, IMEC, ST Microelectronics, Bull, LETI Grenoble |
| Duration: | 01.10.2001 bis 31.08.2003 |
| Aims of the Project: | Integration of ultra low k dielectrics |
Industrial: Fabrication of multi-use acceleration sensors
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | Fara New Technologies, Xi´an, China, GEMAC mbH Chemnitz |
| Duration: | 01.09.2001 bis 31.08.2003 |
| Aims of the Project: | Development of an high precision acceleration sensor system and its fabrication technology; Fabrication of prototypes |
SMWA: Spectral tunable infrared sensor
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | InfraTec GmbH Dresden, FhG IZM, Department Chemnitz |
| Duration: | 01.01.2001 bis 31.03.2003 |
| Aims of the Project: | Development of layout and technology for a micromachined Fabry-Perot-Interferometer for IR applications; Fabrication of prototypes |
BMBF: Integrierter busfähiger Anzünder
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Project Leader: | Chemnitz University of Technology |
| Partners: | TEMIC microelectronics Nürnberg, TRW Airbag systems Aschau/Inn NICO Pyrotechnik Trittau, Dynamit Nobel Fürth |
| Duration: | 01.01.2000 bis 31.12.2002 |
| Aims of the Project: | Development of an Airbag Ignition System |
SMWA: Entwicklung mikromechanischer Spiegel für ein IR-Analysesystem
| Local Project Manager: | Prof. T. Gessner |
| Partners: | FhG IZM Abteilung Micro Devices and Equipment COLOUR CONTROL Farbmeßtechnik GmbH OPTUM Umwelttechnik GmbH |
| Duration: | 01.01.2001 bis 31.12.2002 |
| Aims of the Project: | Development of an IR-Spectrometer with a micromechanical mirror with a special reflective grating on the mirror surface |
GeoTech - Geometrisch skalierte Spulen für das induktive Transient Liquid Phase (TLP)- Waferbonden in der Mikrosystemtechnik
| Project Leader: | Prof. Dr. Karla Hiller |
| Duration: | 01.04.2020 bis 30.11.-0001 |
