Completed Projects
BMBF: VE-VIDES - Verbundprojekt: Designmethoden und HW/SW-Co-Verifikation für die eindeutige Identifizierbarkeit von Elektronikkomponenten - VE-VEVIDES
The main goal of VE-VIDES is to turn hardware from an Achilles' heel into a foundation of trustworthiness, making use of the immutability of hardware after production. VE-VIDES improves development practices for trusted intellectual property (IP) and its integration along value chains. A holistic security concept is developed that secures individual IP components and their integration into an overall system against security risks, attacks and manipulation by third parties using innovative methods. To this end, a novel IP design and verification flow is being developed to ensure trustworthiness, especially in safety-critical electronic systems. Read more about this project
EU: DeDNAed - Cluster decorated recognition elements on DNA origami for enhanced raman spectroscopic detection methods
The innovative DeDNAed biosensor platform is based on DNA origami as a ‘nano-breadboard’ and uses biomolecules as DNA aptamers or antibodies as biological recognition elements . Due to the high sensitivity and speed of optical detection by surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS), the DeDNAed project aims to develop customised sensor platforms for the detection of food contaminants and biomarkers such as aflatoxin and interleukin-6 even at very low concentrations. The project partners come from seven international institutions, including next to Chemnitz University of Technology, University Le Mans, CIC biomaGUNE and the University of Potsdam. The total budget amounts to ~3 million euros. Read more about this project
ZIM: PermanentBond
The development of polishing processes, permanent bonding technologies at low pressures and temperatures, and a rethinning process with high strengths for microsystems technology with a TTV < 5µm and 100% defect-free bonding is the main objective. Read more about this project
EU/BMBF: HiEFFICIENT - Highly EFFICIENT and reliable electric drivetrains based on modular, intelligent and highly integrated wide band gap power electronics modules
CopperPaste Entwicklung und Charakterisierung von Pastengemischen und Galvanikprozessen zur Herstellung wärmeleitfähiger Bohrlochfüllungen von Leiterplatten für Hochstromanwendungen sowie Adressierung von Fragen der Zuverlässigkeit von Paste und Füllung
PermanentBond Entwicklung einer Fügetechnologie auf Waferebene, welche es ermöglicht Glas/Silizium/ Lithiumtantalat Verbünde mit einem TTV < 5µm materialschonend herzustellen und Entwicklung eines Analyseprozesses für materialspezifische Prozessansprüche
DFG: NanoCon - Niederohmige Kontakte für Kohlenstoffnanoröhren-basierte Hochfrequenz Feld-Effekt Transistoren
DFG: MemDPU - "Domino Processing Unit: Auf dem Weg zum hocheffizienten In-Memory-Rechenwerk (MemDPU)" im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Memristive Bauelemente für intelligente technische Systeme"
Cattle Observer UtBr- IntellCaOb / Systemintegration und Packaging
BMBF: UpFUSE - Verbundprojekt: Erforschung passiver Funk-Sensorsysteme zur Energieautarken Erschütterungs- und Vibrationsüberwachung - ForMikro-UpFUSE -, Teilvorhaben: Entwicklung nanoionischer Speicher und Kopplung mit piezoelektrischen MEMS
DFG: MemCrypto - "Auf dem Weg zu sicheren elektroformungsfreien memristiven kryptografischen Implementierungen (MemCrypto)" im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Nano Security: Von Nanoelektronik zu Sicheren Systemen"
DFG: NANOSEC - Thema "Manipulationssichere PUFs basierend auf Nanostrukturen für sichere und robuste Hardwaresicherheits-Primitive" im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Nano Security: Von Nanoelektronik zu Sicheren Systemen"
SMUL: Wassermonitor - "Wassermonitor-NanOpt, Mobiles nano-optisches Wasserqualitätsmonitoring-System"
CHARM - Verbundprojekt: Elektroniksysteme für extrem robuste IoT- und KI-Anwendungen, Teilvorhaben: Zuverlässigkeitsuntersuchungen und virtuelles Prototyping für Elektronik unter rauen Einsatzbedingungen
The CHARM ECSEL JU project aims to develop industrial IoT (Internet of Things) solutions with an improved tolerance towards harsh industrial surroundings. Digitalisation of the European manufacturing industries is the key to their continuous renewal and competitiveness. Harsh environmental conditions in manufacturing processes and end user environment may slow down the opportunities brought by IoT and AI (Artificial Intelligence). The CHARM (Challenging environments tolerant Smart systems for IoT and AI) project is set to solve this challenge. Read more about this project
POLAR - Verbundprojekt: Pyroelektrischer, Hafniumoxid-basierter digitaler Sensor Teilvorhaben: Technologieentwicklung und mikromechanische Strukturierung Sensorchip
EU: SixthSense - Lebensrettende Technologie zur Gesundheitsüberwachung mit sensorischem Feedback zur Verbesserung des Situationsbewusstseins
BMBF: diVIBES - Digitale 3D Breitband-Vibrationssensoren zur verbesserten Maschinenüberwachung durch maschinelles Lernen
SRCC-SmartWindow - WIR Smart Rail Connectivity Campus - Transparente Displays für kollektive visuelle Fahrgastinformationen
HyLight4Rail - Hyperspektraler LIDAR-Sensor unter Laborbedingungen – spektrale Materialidentifikation, Validierung und Technologiesteuerung
SELETCH - Rationales Design der selektiven thermischen Atomlagenaetzprozesse durch Computerchemie
FASTMEMS - Funktionale Aluminium-Scandium-Targets zur Herstellung piezoelektrischer MEMS
UltimateGaN - Verbundprojekt Teilvorhaben: Zuverlässigkeitsbewertung und Lebensdauermodellierung von GaN-basierten Leistungsbauelementen
TMR2 - Kristallisationsmechanismen von CiFeB-basierten TMR-Schichtstapeln bei Laser-Annealing
GeoTech - Geometrisch skalierte Spulen für das induktive Transient Liquid Phase (TLP)- Waferbonden in der Mikrosystemtechnik
MoNaUhr - Neuartiges, multifunktionales Mikrosystem zur Detektion und Anzeige von Umweltdaten in einer mechanischen Uhr
Scale Phase 2 - Skalierung von Fügetechnologien in Produktionsprozesse für mikro-und makroskopische Anwendungen
Nanolot - gradierte Nanoverbundwerkstoffe mit funktionsorientierten Eigenschaften zur Verarbeitung mit additiven Fertigungstechnologien
Landvermessung - Automatische Landvermessung 5.0, Digitales 3D-Raumvermessungssystem
intense2020 - Intelligente Energieversorgung und Sensorik für die Automobilelektronik der Zukunft
SAB: ALMET - Anlagen und Prozesse fuer die Atomlagenabscheidung metallischer Duennschichten
Teilprojekt des ZFM: Simulation der Chemie von Cobalt- und Kupfer-Precursoren fuer die ALD Read more about this project
SAB: Momentum - Entwicklung eines neuen 22 FDX Technologie-Knotens zum Industrie-Benchmark fuer den Kennwert PPA
BMBF: smartStar - Entwicklung, Integration und Charakterisierung von miniaturisierten CNT-Sensoren fuer selbsttestende Elektroniksysteme
AiF IGF: 3D Robojet - Robotergeführter Injektdruck von funktionalen Schichten auf dreidimensionale (3D) Objekte
BMBF: MetaQuant - Kombination von Metamaterialien mit Quantum Dot LEDs zur Optimierung ihres Abstrahlverhaltens
AiF IGF: Insight - Induktives Sintern von gedruckten mikro- und nanoskalierten Zwischenschichten zum Fügen mikroelektronischer Komponenten
AiF/ZIM: Indu2Mikro - Spulenentwicklung für einen definierten Wärmeeintrag bei kleinen Bauteilen
DFG: PoNI - Kombination spektroskopischer Verfahren zur Erforschung grundlegender Mechanismen der Poren- und Netzwerkbildung in mesoporoesen low-k-Dielektrika
AiF IGF: FOSTA - Verbesserung des Einsatzverhaltens von Werkzeugen der Warmformgebung durch nitriergerechte Auswahl von Warmarbeitsstählen
AiF IGF: SINTER - Einflussgrößen-Wirkungsanalyse Lebensdauerabschätzung hoch stabiler Verbindungen in der Leistungselektronik
SAB/SMWK: Leistungs-/Transferzentrum Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik
AiF/ZIM: Demenz - System zur Unterstützung demenzkranker Patienten in Pflegeheimen, Entwicklung der Messplatz-Funktionen
SAB: Lenore2 - Entwicklung einer Sensorplattform aus der Kombination von DNA Origami und einem 2D-Metamaterial
DFG: Plasmasensor - Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen Read more about this project
SAB: E-PISA - Energieautarke, drahtlose Piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0
SAB: Lenore - Entwicklung einer Sensorplattform aus der Kombination von DANN Origami und einem 2D-Metamaterial
SAB: DeDNAed - Entwicklung eines hochsensitiven Biosensorikverfahrens auf Basis der Ramansignalauswertung mittels oberflächenverstärkter Ramanspektroskopie von mit Atomclustern funktionalisierten Markermolekülen assembliert auf einem DNA-Origami
EU/BMBF/SMWA: SILENSE - Zuverlässigkeitsforschung für smarte ultraschallbasierte MEMS-Sensor-Systeme
SAB: Almet - Anlagen und Prozesse für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten
DFG: Interfacial perpendicular magnetic anisotropy for next-generation monolithic 3D TMR sensors
DLR/BMWi: TransMan - Transitions-Manipulation
SAB: miniModul - Hochminiaturisiertes Spektrometermodul für die IR-Gassensorik
AiF IGF: Adept - Verbesserte Elektropoliertechnologien zur formtreuen Oberflächenbehandlung
SAB: QDNA-Sensor - Entwicklung eines Biosensorikverfahrens auf Basis von supernano-QDs und DANN Origami als modulares Template
AiF IGF: HeInaMet - Heterogene Integration von Substraten mittels nanoporöser Metallschichten
BMBF: MSSpinCrash - Multisensorsystem zur Spindeldiagnose und Crash-Detektion in Werkzeug-maschinen sowie Einbindung in Industrie 4.0 Prozesse
SAB/SMWK: MinaH
AiF/ZIM: Scale - Skalierung von Fügetechnologien für mikro-und makroskopische Produktionsprozesse
DFG: InterKoop - Aufbau internationaler Kooperationen zum Thema chronische neurale Stimulation
AiF IGF: InduBond - Erarbeitung einer induktiven Fügetechnologie zum Bonden von mikroelektronmechanischen Systemen (MEMS)
DFG: cfAED Center for Advancing Electronics ( Cluster of Ecellence) -BAC path
DFG: MERGE - Cluster of Excellence - Domain D - Micro- and nanosystems integration for hybrid structures
DFG: FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 5
SAB: EVOLVE
Unterauftrag des Fraunhofer ENAS an das ZfM: ?Modellierung der thermodynamischen und Transporteigenschaften von Präkursoren und möglichen Reaktionsprodukten für die Abscheidung tantalbasierter Barrieren mittels Atomlagenabscheidung? Read more about this project
EC: StrengthABLE
Strength-ABLE is a three year collaborative European project that will generate design rules and new measurement techniques to exploit the opportunity to length-scale engineer materials into more sustainable/energy efficient industrial components that are lighter, stronger, fatigue and wear resistant. Read more about this project
AIF/ZIM: TAPYR
DFG: FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 3b
FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 8b
SAB/SMWK: Leistungszentrum Funktionsintegration für die Mikro- und Nanoelektronik
Nano- und Mikroelektronik durchdringen heute alle Lebensbereiche. Mit dem Internet der Dinge und Industrie 4.0 steigt nicht nur die Nachfrage, auch die Anforderungen an die Systeme wachsen: Die Bauteile muessen kuenftig noch mehr Funktionen integrieren koennen, noch kleiner und staerker vernetzt sein. Die Wettbewerbsfaehigkeit und Innovationskraft von Unternehmen im Bereich Elektronik entscheidet sich heute in dem Maße, wie schnell sie auf neueste technologische Entwicklungen zugreifen koennen. Dabei sind schnelle und effektive Entwicklungen von Loesungen aller Teilaspekte einer Applikation erforderlich. Ziel ist es, Wettbewerbsfaehigkeit und Innovationskraft insbesondere der mittelstaendischen Firmen in Sachsen in den Bereichen Sensorik und Aktorik, Messtechnik sowie im Maschinen- und Anlagenbau durch eine schnelle Ueberfuehrung von Forschungsergebnissen in innovative Produkte zu staerken. Als Erstes erarbeiten die Partner eine gemeinsame Technologie- und Entwicklungsplattform fuer innovative Bauelemente und Systeme und damit die inhaltliche Basis fuer alle weiteren Arbeiten. Dazu fuehren sie gegenwaertig Entwicklungsarbeiten durch, Fraunhofer ENAS leistet Beitraege bei innovativen Komponenten und Fertigungstechnologien, heterogene Systemintegration und Zuverlaessigkeitsbewertung. Read more about this project
VW-Stiftung: VW-Projekt (Phase 2): Piezoresistive Carbon Nanotubes for condition monitoring and reliability considerations
In the first project phase the fundamentals for the investigation and application of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) as piezoresistive sensing elements have been laid. With this research an actual batch processing compatible CNT/MEMS technology has been demonstrated for the first time. A MEMS test stage has been realized allowing to investigate mechanical and electrical properties of CNTs under mechanical load and to perform reliability studies on the CNT-metal interface. In the project renewal we will intensify those studies with a novel analytical approach on the one hand. With our wafer level technology we will realize a test system to do in situ transmission electron microscopy investigations providing unique insights into the CNT-metal contact physics under well-controllable strained condition. On the other hand we will bring fundamental investigations as well as CNT sensor technology to the next level by focusing on single-walled CNTs with a strongly restricted chiral distribution. This will enable a new class of high sensitive and strongly miniaturized devices allowing to pass from a static application to high frequency CNT-based piezoresistive vibration sensors for condition monitoring. Read more about this project
AiF/ZIM: PyroMOD
DFG: NanoReaktif: Neuartige nanoskalige reaktive Materialsysteme als interne Wäremquelle für Fügeverfahren
BMBF: VIP SERON - Miniaturisiertes Durchfluss-SERS-Spektrometer mit in-situ Nanopartikelgeneration für Online-Monitoring Anwendungen
DFG: MCT-ACE kap US-Sensor
AiF: SprühTopo: Sprühbeschichtung als alternative Beschichtungstechnologie für Substrate mit unterschiedlichen Größen und Topographien
Das Ziel des Projekts ist die Entwicklung eines Negativspruehlackes und der dazugehoerigen Prozesstechnologie fuer eine materialsparende Spruehbeschichtung zur Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung von klebfreien, homogenen Schichten auf Substraten unterschiedlicher Groessen und Topographien. Es ist weiterhin der Prozess der homogenen Beschichtung auf Substraten mit Topographien bis zu 300?m von nasschemischen geaetzten Strukturen mit typischen Boeschungswinkeln von 54? und von trockenchemisch tiefengeaetzten Strukturen mit bis zu 90? Kantenwinkeln zu entwickeln. Dabei sollen die Schichten eine gleichmaessige Schichtdicke und vor allem eine ausreichende Kantenbedeckung im Schichtdickenbereich zwischen 3 ?m bis 30 ?m aufweisen. Die Prozessentwicklung der Strukturierung des Negativlackes auf Topographien und die Prozessentwicklung der Strukturuebertragung, sowie die Charakterisierung der erzeugten Strukturen ist ebenso Bestandteil des Projektes. Read more about this project
BMBF: GIPRIS: Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau
Das Zentrum f?r Mikrotechnologien der TU Chemnitz ist in diesem Projekt f?r zwei Aufgabenschwerpunkte zust?ndig. Der erste Schwerpunkt besteht darin, hochpr?zise Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bereitzustellen. Kern dieser Aufgabe ist dabei die Entwicklung eines neuen Konzeptes zur drastischen Erh?hung der Sensorempfindlichkeit und dessen technologische Umsetzung. Der zweite Aufgabenschwerpunkt besteht in der Charakterisierung der hergestellten Sensoren hinsichtlich ihres D?mpfungsverhalten, Polarisationsspannung und Bestimmung der Sensorparameter bez?glich der anwenderbezogenen Anforderungen an das Gesamtsystem. Read more about this project
EU: MechProNo
BMWi: NASE - Nanoskaleneffekte für metallische Niedertemperaturverfahren
IGF-Vorhaben 17367 BR: Remtec - Entwicklung von Kontaktier- und Verbindungstechniken auf Basis galvanisch abgeschiedener reaktiver Mehrschichtsysteme
SAB/SMWK: BENGALOS: Untersuchung prozessbedingter Einflüsse des BEOL auf elektrische und mechanische Eigenschaften in Sub-30nm CMOS-Technologien
Teilvorhaben Technische Universität Chemnitz, ZfM: Neuartige Technologie zur Integration von ultra low-k-Materialien, Reinigungsprozesse für die Sub-30nm CMOS Technologien und Untersuchungen zur Plasmainduzierten Schädigung im FEOL durch BEOL-Prozessierung (CALIPI) Read more about this project
SAB/SMWK: VERIMIS: Vertikale NEMS/MEMS-Integration in intelligente Sensorknoten
Ziel des Vorhabens war die Erarbeitung einer neuen Durchkontaktierungstechnologie f?r MEMS/NEMS-Komponenten auf Basis von vertikalen Terminals und die Integration und Evaluierung eines MEMS-basierten Wake-Up-Receivers in multifunktionale Sensorknoten. Dazu waren vertikale Terminals zu entwickeln, die eine direkte elektrische Verbindung vom MEMS zu den Anschlusspads ohne eine zus?tzliche Zwischenebene erm?glichen. Read more about this project
DFG: Forschergruppe 1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme TP5
Subproject 5 is targeted on the establishment of technological basics for the integration of carbon nanotubes (CNT) in MEMS/NEMS. Therefore the CVD (Chemical Vapor Deposition) method as well as the DEP (Dielectrophoresis) process will be deployed, whereby especially integrative aspects like scalability and reproducibility will be emphasized. Focal point is the specific placement and orientation of semi-conductive CNTs in special test and sensor structures. Thereby vital technological challenges like type selectivity, bonding, and complete integration at wafer-level will be addressed. Progressive simulation and also in situ methods will be applied for the development of the process. The functionalization of CNTs for the modification and extension of the sensor behavior is another main point. New precursors for the production of metallic and semi-conductive functionalizations will be developed and characterized. Processes like ALD (Atomic Layer Deposition) will be applied for their deposition. Read more about this project
DFG: Hochempfindliche Bewegungsdetektion auf Basis feldemittierender Kohlenstoffnanoröhren
Die Detektion kleinster Bewegungen ist eines der Hauptanwendungsgebiete mikro- und nanoelektromechanischer Systeme (MEMS/NEMS). Bisherige Ansätze verwenden hierzu piezoresistive, piezoelektrische oder kapazitive Messprinzipien. Diese Prinzipien sind jedoch größtenteils ausgereift, so dass eine deutliche Sensitivitätserhöhung nur mit großem technologischen Aufwand realisiert werden kann. Alternativ kann eine Sensitivitätserhöhung über die Integration von Nanostrukturen in mikromechanische Systeme erreicht werden. In dem hier vorgeschlagenen Projekt wird ein solcher alternativer Ansatz verfolgt, bei dem Kohlenstoffnanoröhren (engl. Carbon Nanotubes, CNTs) zum Einsatz kommen. Als positionsabhängige Größe wird dabei der von den CNTs emittierte Feldemissionsstrom verwendet. Zu diesem Zweck werden die CNTs mittels Dielektrophorese in speziellen Teststrukturen integriert, die auf etablierten MEMS-Technologien aufbauen und diese erweitern. Die Integration sowie die notwendige Strukturierung der CNTs erfolgt dabei auf Waferebene. Die mechanischen und elektrischen Eigenschaften der Teststrukturen sind hinsichtlich einer hohen Sensitivität zu entwerfen und zu charakterisieren. Die Charakterisierung der CNT-Ausgangsmaterialen erfolgt über verschiedene elek-trische und spektroskopische Methoden. Die Ergebnisse der einzelnen Teilschritte schaffen die Grundlagen, um das Sensorprinzip innerhalb der Projektlaufzeit in einem Demonstrator umzusetzen. Read more about this project
BMBF: Smarte organische Funktionssysteme für mobile Infektionsdetektion (SOFI)
SAB: CoolTrans: Energieeffiziente Anwendungen – Stressoren zur Erhöhung der Ladungsträgerbeweglichkeit in CMOS - Bauelementen
Energieeffiziente Anwendungen - Stressoren zur Erhöhung der Ladungsträgerbeweglichkeit in CMOS - Bauelementen Teilthema "Materialevaluierung und Simulation zum Stresseintrag" Zur Erhöhung der Geschwindigkeit von CMOS-Bauelementen muss die Ladungsträger-beweglichkeit im Transistorkanal erhöht werden. Dazu können gezielt mechanische Spannungen in den Halbleiter eingebracht werden. Gegenwärtig geschieht dies z. B. durch Dotieren mit Germanium in den S/D-Gebieten, was Druckspannungen hervorruft. Diese wirken sich aber nur positiv auf die Löcherbeweglichkeit in p-MOS-Transistoren aus. Für n-MOS-Bauelemente sind Zugspannungen erforderlich. Dielektrische Stressor-Schichten stellen eine weitere, effektive Möglichkeit dar, die Geschwindigkeit von p-MOS-Transistoren aber auch von n-MOS-Transistoren zu erhöhen. Es sollen Herstellungsprozesse für dielektrische Stressoren basierend auf alternativen Stressoren, z. B. Si3N4, SiC:H oder DLC (diamond-like carbon) entwickelt werden sowie Simulationen des Einflusses der Stressorschichten und der Transistorgeometrie auf die Performance der Transistoren durchgeführt werden. Read more about this project
AiF: Entwicklung eins chipbasierten VIS/NIR-Spektrometers zur Bestimmung der arteriellen Sauerstoffkonzentration (LeDSpek)
X-FAB / Thüringer Aufbaubank: X-FAB HoKa
BMBF: ASTROSE - Autarkes Sensornetzwerk zum Monitoring in der Energietechnik
BMBF: Mikrosysteme mit hierarchischen Polymermerstrukturen (mikrohips - Format 2)
SAB: SIMEC - Entwicklung einer Schlüsseltechnologie - Plattform zur Fertigung von neuartigen mikromechanischen Baugruppen aus Silizium
BMBF: NMR-Metabolit-Profil-Erstellung in der Stammzell-Nische (METASTEM)
BMBF: Mikrosysteme mit hierarchischen Polymermerstrukturen (mikrohips)
UA: Präparation von Labormustern für MEMS Gyros / IMU MOCAP
BMBF: Active Smart ID Label für die Transportüberwachung (ASIL); Teilvorhaben: Sensormodul und Sensormodulpackaging
BMBF: Erstellung eines Stategiekonzepts für ein Zentrum für Innovationskompetenz (ZIK) "Entwurfs- und Verifikationstechniken – Design Center Chemnitz"
BMBF: VISULASE - Unterauftrag: Scannerpräparation
BMBF: Entwicklung von robusten mikromechanischen Scannern für ein optisches Analysesystem; Teilvorhaben: Modulares optisches Analysesystem (MOPAL)
SMWK: NMR-Mikroresonatoren zur Einstellung von Metabolit-Profilen hämatopoetischer Stammzellen; Teilvorhaben: NMR-Mikroresonator
DFG : SFB 379 Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays, 4. Antragszeitraum (9 Teilprojekte)
SMWA: Tools zum Trockenätzen von Siliziumdioxid als neue Kerntechnologie der Mikrosystemtechnik (Teilthema Prozessentwicklung)
Development of dry etching tools for SiO2 as core technology for microsystems technology Read more about this project
DFG: Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low k-Dielektrika
AiF: Lasertrimmen von Feder-Masse-Aktuatoren auf Basis von Silizium
Laser trimming of silicon actuators Read more about this project
BMBF: Prüf- und Qualitätssicherungssystem für die industrielle Fertigung von wafergebondeten Mikrosystemen (Mikroprüf), Teilvorhaben: Technologieentwicklung, Fertigung und Charakterisierung von Prüfstrukturen für die Bewertung der Bondqualität
SMWA: Modular measurement system consisting of a tunable FPI and IR sensor - MODUL
Development of layout and technology for a micromachined Fabry-Perot-Interferometer; Fabrication of prototypes Read more about this project
BMBF: Electronic compensation of fabrication tolerances of microsystem products demonstrated for a multi sensor for navigation (EKOFEM)
Development of electronic compensation methods of fabrication tolerances and their application for a high precision silicon multisensor (acceleration and angular rate measurement) Read more about this project
SMWA: Mikroelektronisches Zündelement für Insassen - Sicherheitssysteme
Development of a new airbag igniter Read more about this project
SMWA: VIBSENS: Abstimmbares frequenzselektives Sensorsystem zur Messung mechanischer Schwingungen
EU: Optical Characterisation Methods for MEMS Manufacturing - OCMMM
Optical Characterisation Methods for MEMS Manufacturing Read more about this project
Entwicklung von Packagingtechnologien für Bauelemente in Oberflächen- technologie
MEMS packaging for surface micro machined devices Read more about this project
BMBF: Verbesserung der Performance von Ics durch Integration von Kupfer und low-k Dielektrika - PERFECT
Application of Copper interconnects for mobile communication IC?s, power devices and micrometer wave devices; Integration of organic low k dielectrics into Copper Damascene metallization Read more about this project
EU SEA: ACTION : Advanced CVD tool for integration of organosilicated nanoporous films
(selected) Provide organosilicated glass (OSG) material with a k-value of 2.2 for interconnect applications for the 90 nm node; Prove cluster tool for full inter metal dielectric (IMD) stack; Demonstrate flexibility for customized dual-damascene stack architectures; Show Cost-effectiveness compared to multi-tool Spin-on Dielectrics (SOD) methods; Demonstrate performance within a 300 mm production environment. www.sea.rl.ac.uk Read more about this project
EU: ULISSE : Ultra low k dielectrics for Damascene copper interconnects schemes
Integration of ultra low k dielectrics Read more about this project
Industrial: Fabrication of multi-use acceleration sensors
Development of an high precision acceleration sensor system and its fabrication technology; Fabrication of prototypes Read more about this project
SMWA: Spectral tunable infrared sensor
Development of layout and technology for a micromachined Fabry-Perot-Interferometer for IR applications; Fabrication of prototypes Read more about this project
BMBF: Integrierter busfähiger Anzünder
Development of an Airbag Ignition System Read more about this project
SMWA: Entwicklung mikromechanischer Spiegel für ein IR-Analysesystem
Development of an IR-Spectrometer with a micromechanical mirror with a special reflective grating on the mirror surface Read more about this project
EU: Automated monitoring in horticulture through spectral analysis with quantum dot detectors and high-resolution optical filters
HortiQD aims to develop an affordable machine vision system for precision farming, specialized in horticulture. We will build a hyperspectral short-wave infrared (SWIR) camera working in the wavelength range of 1 to 2 µm. The sensory system will be used directly on the field, as in-vivo measurement, as either a handheld solution or attached to an autonomously driving tractor to allow for intensive monitoring of the crop. The spectral analysis executed partially by artificial intelligence (AI) allows for the estimation of abiotic (of non-biological origin like water stress) and biotic (diseases and pests) stress to help farmers in the apples growing. The collected spectral data shall be correlated with additional information from sensors, usually already available at orchards, such as temperature and humidity. This monitoring is an element of Integrated Pest Management, which plays an important role to reduce the usage of chemical pesticides what is in line with “Farm 2 Fork” (F2F) European strategy and can constitute the element of a Decision Support System. The system will be a basis for a deduction of suitable measures and further investigations on how far the limits of spectral on-field-examinations can be pushed, e.g., regarding sugar and starch content of the fruits. This processed data-set is the basis for increasing the yield, improving the quality of the harvest and further reducing the use of chemicals in the future. Cost-effective and close monitoring is the basis for an early warning system for diseases. Curbing them in their early stages contributes significantly to European sustainability goals in agriculture, by avoiding pesticides and protecting our food production systems. It is the explicit aim of the project to provide farmers with easy access to hyperspectral sensor systems and take advantage of the possibilities emerging with new technologies. To reach this goal we will develop a novel detector type, based on quantum dot (QD) technology, promising much lower cost than state of the art detectors. This device will be combined with a customized tunable Fabry-Pérot interferometer to specifically select wavelengths and record spectra. The functional scope of the imaging apparatus will be extended by point analysis at specific fixed wavelengths in the visible and near infrared to fully cover the optimal spectral ranges necessary for a profound analysis of plant states and disease detection. The design will consist of a large aperture for optimal light input for the hyperspectral imaging approach and full usage of the high spatial resolution of the QD detector. The system will be mounted to an autonomous tractor, in order to allow fully automated monitoring. The system-integration is strongly emphasized, in order to bring the solution close to the markets, including mounts, interfaces, hardware and software to process the spectral data and providing a professional infrastructure for data handling and correlation. As a first case study the fruit with highest European impact will be addressed: the apple. The following tables summarize the objectives and expected results we are aiming for, as well as suitable validation methods and the coherence with the call scopes. First the overall objective is presented and followed by more specific goals. Read more about this project