SAB: EVOLVE
Dr. Andreas Zienert
Fraunhofer ENAS, GLOBALFOUNDRIES, TU Dresden, Fraunhofer IPMS-CNT
01.04.2015 to 30.09.2018
Unterauftrag des Fraunhofer ENAS an das ZfM: ?Modellierung der thermodynamischen und Transporteigenschaften von Präkursoren und möglichen Reaktionsprodukten für die Abscheidung tantalbasierter Barrieren mittels Atomlagenabscheidung?