POLAR - Verbundprojekt: Pyroelektrischer, Hafniumoxid-basierter digitaler Sensor Teilvorhaben: Technologieentwicklung und mikromechanische Strukturierung Sensorchip

Local Project Manager

Prof. Dr. Karla Hiller

Project Leader

Dr.-Ing. habil Norbert Neumann, InfraTec GmbH

Partners

InfraTec GmbH, Infrarotsensorik und Messtechnik (Koordinator), AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Fraunhofer IPMS-CNT, Zentrum für Mikrotechnologien der TU-Chemnitz, Hugo Müller GmbH & Co. KG (assoziierter Partner)

Duration

01.05.2019 to 30.04.2023

Project Homepage

https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Polar/index.php

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