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Center for Micro and Nano Technologies
Project Details
Center for Micro and Nano Technologies 

BMBF: HyPACT - Fortschrittliche Aufbau- und Verbindungstechnologien für hohe Zuverlässigkeit in Automobil, Industrie und Energieversorgung


Prof. Karla Hiller
Dirk Wünsch
Berliner Nanotest und Design GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH, Fraunhofer Institut für elektronische Nanosysteme, Swissbit Germany AG, budatec GmbH, BESI Austria GmbH
01.07.2025 to 30.06.2028

Zu den Zielen von HyPACT zählen unter anderem die Entwicklung von besonders leistungsfähigen Die-to-Wafer-Bondern und Fertigungsinspektionsgeräten der nächsten Generation. Passend dazu sollen zeitgemäße Packaging-Designs, Tests, Prozessoptimierungen und Zuverlässigkeitsbewertungen rund um die im Heterointegrations-Bereich extrem vielversprechenden Hybridbonding-Prozesse erarbeitet werden. Das HyPACT-Partnerkonsortium bietet dazu ein breites Spektrum an domänenspezifischem Know-how sowie umfangreiche Unterstützung aus der Industrie auf, um die großen Herausforderungen zu bewältigen und im Anschluss technisch-wissenschaftlich und kommerziell zu verwerten.