SMWA: Entwicklung mikromechanischer Spiegel für ein IR-Analysesystem
Prof. T. Gessner
FhG IZM Abteilung Micro Devices and Equipment COLOUR CONTROL Farbmeßtechnik GmbH OPTUM Umwelttechnik GmbH
01.01.2001 to 31.12.2002
Development of an IR-Spectrometer with a micromechanical mirror with a special reflective grating on the mirror surface