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Center for Micro and Nano Technologies
Project Details
Center for Micro and Nano Technologies 

DFG : SFB 379 Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays, 4. Antragszeitraum (9 Teilprojekte)


Prof. Thomas Gessner
10 Lehrstühle der TU Chemnitz; FhG-IZM Berlin, Außenstelle Chemnitz
01.01.2004 to 31.12.2006