DFG: Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low k-Dielektrika

Local Project Manager

Dr. Stefan E. Schulz

Project Leader

Prof. Thomas GeßŸner

Partners

TUC, Lehrstuhl Physik fester Körper

Duration

01.12.2004 to 30.11.2006