SMWA: Tools zum Trockenätzen von Siliziumdioxid als neue Kerntechnologie der Mikrosystemtechnik (Teilthema Prozessentwicklung)
Prof. T. Gessner
FHR Anlagenbau GmbH
01.06.2004 to 30.11.2006
Development of dry etching tools for SiO2 as core technology for microsystems technology