BMBF: GIPRIS: Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau

Das Zentrum f?r Mikrotechnologien der TU Chemnitz ist in diesem Projekt f?r zwei Aufgabenschwerpunkte zust?ndig. Der erste Schwerpunkt besteht darin, hochpr?zise Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bereitzustellen. Kern dieser Aufgabe ist dabei die Entwicklung eines neuen Konzeptes zur drastischen Erh?hung der Sensorempfindlichkeit und dessen technologische Umsetzung. Der zweite Aufgabenschwerpunkt besteht in der Charakterisierung der hergestellten Sensoren hinsichtlich ihres D?mpfungsverhalten, Polarisationsspannung und Bestimmung der Sensorparameter bez?glich der anwenderbezogenen Anforderungen an das Gesamtsystem.