SAB/SMWK: VERIMIS: Vertikale NEMS/MEMS-Integration in intelligente Sensorknoten

Ziel des Vorhabens war die Erarbeitung einer neuen Durchkontaktierungstechnologie f?r MEMS/NEMS-Komponenten auf Basis von vertikalen Terminals und die Integration und Evaluierung eines MEMS-basierten Wake-Up-Receivers in multifunktionale Sensorknoten. Dazu waren vertikale Terminals zu entwickeln, die eine direkte elektrische Verbindung vom MEMS zu den Anschlusspads ohne eine zus?tzliche Zwischenebene erm?glichen.