Outstanding Paper Award 2025 für die Forschung an Nanotechnologien für Photonik und MEMS

09.Jul.2025   Reseach News

Das vom ZfM in Kooperation mit dem Fraunhofer ENAS durchgeführte Projekt befasst sich mit der optomechanischen Detektion kleinster Bewegungsamplituden für hochpräzise MEMS-Inertialsensoren. Das ZfM übernimmt dabei die technologische Entwicklung und Umsetzung der MEMS-Inertialsensoren, während das Fraunhofer ENAS für das Design sowie die optische Auswertung verantwortlich ist. Franz Tank, Mitarbeiter des ZfM / Forschungsfeld MEMS Technologies and Devices (im Bild zu sehen), ist an der optischen Auswertung der nanotechnologisch gefertigten Bauelemente beteiligt.

Erfahren Sie mehr über diese Arbeit in unserer Veröffentlichung, die online verfügbar ist: https://ieeexplore.ieee.org/document/11006611