Mikrooptiken der TU Chemnitz im Benchmark beim Fachjournal Nature - Microsystems & Nanoengineering

01.Oct.2025   Reseach News

Der Artikel „Recent progress in aluminum nitride for piezoelectric MEMS mirror applications“ gibt einen Überblick über den aktuellen Stand piezoelektrischer MEMS-Spiegel auf Basis von Aluminium-Nitrid (AlN) und zeigt, wie die Dotierung mit Scandium (AlScN) die Leistung deutlich steigern kann – insbesondere durch höhere Auslenkungen bei gleichem oder geringerem Energieeinsatz. Gleichzeitig werden Herausforderungen wie Materialinstabilität bei hohem Sc-Anteil thematisiert.

Die Arbeiten von Meinel und Stöckel werden im Artikel als wichtige Referenzen für die Entwicklung von Al(Sc)N-basierten MEMS-Spiegeln hervorgehoben. Sie zeigen unter anderem, wie mit optimierten Designs und integrierter Sensorik bereits mit reinem AlN sehr große Auslenkungen erreicht werden können. Ihre Forschung dient im Review als Vergleichsgrundlage für neue AlScN-Ansätze und unterstreicht die Relevanz ihrer Beiträge für das heutige Verständnis piezoelektrischer Aktorik.

Den Artikel ist online verfügbar: https://www.nature.com/articles/s41378-025-01053-8