Center for
Micro and Nano Technologies
One of the world's leading research centers
in the field of microsystems technology and nano technologies
in the field of microsystems technology and nano technologies
Jacob Müller, TU Chemnitz
Center for
Micro and Nano Technologies
One of the world's leading research centers
in the field of microsystems technology and nano technologies
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Jacob Müller, TU Chemnitz
Center for
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One of the world's leading research centers
in the field of microsystems technology and nano technologies
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Jacob Müller, TU Chemnitz
The Research Center
The ZfM is one of the world's leading research centers in the field of microsystems technology and nano technologies. The aim is research and development of new technologies for the micro and nanosystems of tomorrow.
The focus of the developments is set on miniaturization, energy requirements, performance and resource efficiency of micro and nanosystems. Together with partners from industry and research, we bring the developments into application.
ZfM at a Glance
Research News
TU Chemnitz: Teilnahme bei der Sachsen-Taiwan-Wissenschaftskonferenz 2026 in Taipeh
Die Partnerschaft zwischen dem Freistaat Sachsen und Taiwan hat einen bedeutenden neuen Meilenstein erreicht. Am 30. September 2025 fand in Taipeh die „Sachsen-Taiwan-Wissenschaftskonferenz“ statt, die erfolgreich abgeschlossen wurde. Die Konferenz widmete sich dem Thema „Nachhaltigkeitsperspektiven in der Halbleiterindustrie“ und zog über 150 angesehene Fachleute aus der Industrie, der Regierung und der Wissenschaft beider Regionen an.Read more
Mikrooptiken der TU Chemnitz im Benchmark beim Fachjournal Nature - Microsystems & Nanoengineering
Im Journal Nature - Microsystems & Nanoengineering ist ein Review Artikel zu den neusten Entwicklungen im Bereich piezoelektrischer Mikrooptiken erschienen. Ein zentrales Element der Vergleichsstudie ist die Forschungsarbeit der TU Chemnitz und des Fraunhofer ENAS.Read more
Looking back on a succesful PESM 2025 in Chemnitz with a strong contribution from HaloFreeEtch
We are proud to look back on the 15th Plasma Etch and Strip in Microtechnology (PESM) Workshop, where leading experts from science and industry came together in the heart of Saxony. The event focused on advanced plasma etching, vacuum-based removal technologies, and sustainable semiconductor processing.Read moreThere is even more. Read all the research news.